铜基底上双层至多层石墨烯常压化学气相沉积法制备与机理探讨

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李浩, 付志兵, 王红斌, 易勇, 黄维, 张继成. 2017: 铜基底上双层至多层石墨烯常压化学气相沉积法制备与机理探讨, 物理学报, 66(5): 336-342. doi: 10.7498/aps.66.058101
引用本文: 李浩, 付志兵, 王红斌, 易勇, 黄维, 张继成. 2017: 铜基底上双层至多层石墨烯常压化学气相沉积法制备与机理探讨, 物理学报, 66(5): 336-342. doi: 10.7498/aps.66.058101
Li Hao, Fu Zhi-Bing, Wang Hong-Bin, Yi Yong, Huang Wei, Zhang Ji-Cheng. 2017: Prep eretions of bi-layer and multi-layer graphene on copper substrates by atmospheric pressure chemical vapor deposition and their mechanisms, Acta Physica Sinica, 66(5): 336-342. doi: 10.7498/aps.66.058101
Citation: Li Hao, Fu Zhi-Bing, Wang Hong-Bin, Yi Yong, Huang Wei, Zhang Ji-Cheng. 2017: Prep eretions of bi-layer and multi-layer graphene on copper substrates by atmospheric pressure chemical vapor deposition and their mechanisms, Acta Physica Sinica, 66(5): 336-342. doi: 10.7498/aps.66.058101

铜基底上双层至多层石墨烯常压化学气相沉积法制备与机理探讨

Prep eretions of bi-layer and multi-layer graphene on copper substrates by atmospheric pressure chemical vapor deposition and their mechanisms

  • 摘要: 化学气相沉积是目前最重要的一种制备高质量、大面积石墨烯的方法.而铜是化学气相沉积法制备石墨烯中最常用的生长基底.虽然有大量文章报道了关于石墨烯的生长条件及生长机理,但是作为最广泛采用的材料,铜基底上双层及多层石墨烯的生长机理仍然在探索中.本文采用常压化学气相沉积法,以乙醇为碳源在铜基底上生长石墨烯,并将其转移到SiO2/Si基底上.用场发射扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱、光学显微镜对所制备的石墨烯进行表征和层数分析,对转移到不同基底上的不同层数的石墨烯进行了透光性分析.结果表明,常压条件下铜箔表面能够生长出质量较高、连续性较好的双层至多层石墨烯.此外,我们还对铜基底上双层至多层石墨烯的生长机理进行了探讨.
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出版历程
  • 刊出日期:  2017-03-15

铜基底上双层至多层石墨烯常压化学气相沉积法制备与机理探讨

  • 西南科技大学,无机非金属材料国家重点实验室,绵阳 621900;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳 621900
  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳,621900
  • 西南科技大学,无机非金属材料国家重点实验室,绵阳 621900

摘要: 化学气相沉积是目前最重要的一种制备高质量、大面积石墨烯的方法.而铜是化学气相沉积法制备石墨烯中最常用的生长基底.虽然有大量文章报道了关于石墨烯的生长条件及生长机理,但是作为最广泛采用的材料,铜基底上双层及多层石墨烯的生长机理仍然在探索中.本文采用常压化学气相沉积法,以乙醇为碳源在铜基底上生长石墨烯,并将其转移到SiO2/Si基底上.用场发射扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱、光学显微镜对所制备的石墨烯进行表征和层数分析,对转移到不同基底上的不同层数的石墨烯进行了透光性分析.结果表明,常压条件下铜箔表面能够生长出质量较高、连续性较好的双层至多层石墨烯.此外,我们还对铜基底上双层至多层石墨烯的生长机理进行了探讨.

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