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扫描电子显微镜法测定金属衬底上石墨烯薄膜的覆盖度

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陈彩云, 刘进行, 张小敏, 李金龙, 任玲玲, 董国材. 2018: 扫描电子显微镜法测定金属衬底上石墨烯薄膜的覆盖度, 物理学报, 67(7): 219-226. doi: 10.7498/aps.67.20172654
引用本文: 陈彩云, 刘进行, 张小敏, 李金龙, 任玲玲, 董国材. 2018: 扫描电子显微镜法测定金属衬底上石墨烯薄膜的覆盖度, 物理学报, 67(7): 219-226. doi: 10.7498/aps.67.20172654
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Chen Cai-Yun, Liu Jin-Xing, Zhang Xiao-Min, Li Jin-Long, Ren Ling-Ling, Dong Guo-Cai. 2018: Coverage measurement of graphene film on metallic substrate using scanning electron microscopy, Acta Physica Sinica, 67(7): 219-226. doi: 10.7498/aps.67.20172654
Citation: Chen Cai-Yun, Liu Jin-Xing, Zhang Xiao-Min, Li Jin-Long, Ren Ling-Ling, Dong Guo-Cai. 2018: Coverage measurement of graphene film on metallic substrate using scanning electron microscopy, Acta Physica Sinica, 67(7): 219-226. doi: 10.7498/aps.67.20172654
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扫描电子显微镜法测定金属衬底上石墨烯薄膜的覆盖度

  • 江南石墨烯研究院,常州,213149

  • 中国计量科学研究院,北京,100013

  • 江南石墨烯研究院,常州 213149;常州国成新材料科技有限公司,常州 213149

Coverage measurement of graphene film on metallic substrate using scanning electron microscopy

  • 摘要: 利用化学气相沉积法生长在金属衬底上的石墨烯薄膜,由于其尺寸的可控性和转移的便利性,被广泛用作各种透明电极.石墨烯薄膜的方块电阻是衡量其品质的重要指标之一,而石墨烯覆盖完全是保证薄膜拥有优良导电性能的基本前提.本文通过研究评估不确定度的分量,提出利用扫描电子显微镜像素计算微区和宏观覆盖度的方法.考虑到石墨烯薄膜覆盖区域与未覆盖区域边界的确定,以及晶畴数目的选取这两个因素对覆盖度测定造成的误差.通过微区有效扫描电子显微镜图像的确定、宏观石墨烯薄膜有效扫描电子显微镜图像的测量数目以及宏观石墨烯薄膜覆盖均匀性的表达,系统研究了化学气相沉积法生长在金属衬底上的石墨烯薄膜的微区覆盖度、宏观覆盖度和覆盖均匀性.该方法通过获得有限次微区扫描电子显微镜图像,不仅可以计算宏观石墨烯薄膜的覆盖度,还可以给出覆盖均匀性,既节省了测量时间,同时也能保证测量有效性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2018-04-15

扫描电子显微镜法测定金属衬底上石墨烯薄膜的覆盖度

  • 江南石墨烯研究院,常州,213149
  • 中国计量科学研究院,北京,100013
  • 江南石墨烯研究院,常州 213149;常州国成新材料科技有限公司,常州 213149

摘要: 利用化学气相沉积法生长在金属衬底上的石墨烯薄膜,由于其尺寸的可控性和转移的便利性,被广泛用作各种透明电极.石墨烯薄膜的方块电阻是衡量其品质的重要指标之一,而石墨烯覆盖完全是保证薄膜拥有优良导电性能的基本前提.本文通过研究评估不确定度的分量,提出利用扫描电子显微镜像素计算微区和宏观覆盖度的方法.考虑到石墨烯薄膜覆盖区域与未覆盖区域边界的确定,以及晶畴数目的选取这两个因素对覆盖度测定造成的误差.通过微区有效扫描电子显微镜图像的确定、宏观石墨烯薄膜有效扫描电子显微镜图像的测量数目以及宏观石墨烯薄膜覆盖均匀性的表达,系统研究了化学气相沉积法生长在金属衬底上的石墨烯薄膜的微区覆盖度、宏观覆盖度和覆盖均匀性.该方法通过获得有限次微区扫描电子显微镜图像,不仅可以计算宏观石墨烯薄膜的覆盖度,还可以给出覆盖均匀性,既节省了测量时间,同时也能保证测量有效性.

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