铜合金表面元素的飞行时间二次离子质谱微区原位分析

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包泽民, 刘光达, 龙涛, 王培智, 石坚, 邱春玲, 田地, 张玉海, 刘敦一. 2016: 铜合金表面元素的飞行时间二次离子质谱微区原位分析, 质谱学报, 37(3): 229-235. doi: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0229
引用本文: 包泽民, 刘光达, 龙涛, 王培智, 石坚, 邱春玲, 田地, 张玉海, 刘敦一. 2016: 铜合金表面元素的飞行时间二次离子质谱微区原位分析, 质谱学报, 37(3): 229-235. doi: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0229
2016: Copper Alloy Surface Elements in situ Analysis Using Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 37(3): 229-235. doi: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0229
Citation: 2016: Copper Alloy Surface Elements in situ Analysis Using Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 37(3): 229-235. doi: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0229

铜合金表面元素的飞行时间二次离子质谱微区原位分析

Copper Alloy Surface Elements in situ Analysis Using Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry

  • 摘要: 铜合金中含有Pb、Sn、Zn、Ni等元素,其分布和相对含量对铜合金的性能具有重要影响.本工作采用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)法对铜合金标准样品GBW02137和GBW02140的表面进行了微区原位分析;采用束斑直径约5μm的一次离子束轰击500μm×500μm区域内的混合固体合金样品,实现了Cu、Pb、Ni、Sn和Zn元素的表面成像,并测量了各元素在铜合金样品表面的分布情况;利用标样校准法对GBW02137、GBW02140中的64Zn/120Sn、208Pb/120Sn值进行相对含量分析.实验结果表明:TOF-SIMS法可用于铜合金中Cu、Pb、Ni、Sn和Zn等元素的表面成像和相对含量测定;采用标样校准法进行相对含量分析时,测得的64Zn/120Sn相对误差小于5.1%,RSD优于2.5%,208Pb/120Sn的测量相对误差较大,接近27%,但其RSD仍低于5%.
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出版历程
  • 刊出日期:  2016-06-28

铜合金表面元素的飞行时间二次离子质谱微区原位分析

  • 吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林 长春,130026
  • 中国地质科学院地质研究所,北京,100037

摘要: 铜合金中含有Pb、Sn、Zn、Ni等元素,其分布和相对含量对铜合金的性能具有重要影响.本工作采用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)法对铜合金标准样品GBW02137和GBW02140的表面进行了微区原位分析;采用束斑直径约5μm的一次离子束轰击500μm×500μm区域内的混合固体合金样品,实现了Cu、Pb、Ni、Sn和Zn元素的表面成像,并测量了各元素在铜合金样品表面的分布情况;利用标样校准法对GBW02137、GBW02140中的64Zn/120Sn、208Pb/120Sn值进行相对含量分析.实验结果表明:TOF-SIMS法可用于铜合金中Cu、Pb、Ni、Sn和Zn等元素的表面成像和相对含量测定;采用标样校准法进行相对含量分析时,测得的64Zn/120Sn相对误差小于5.1%,RSD优于2.5%,208Pb/120Sn的测量相对误差较大,接近27%,但其RSD仍低于5%.

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