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激光技术在薄膜科学中的应用

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陈兴, 张霆, 方尚旭, 罗乐. 2007: 激光技术在薄膜科学中的应用, 现代物理知识, 19(5): 38-39.
引用本文: 陈兴, 张霆, 方尚旭, 罗乐. 2007: 激光技术在薄膜科学中的应用, 现代物理知识, 19(5): 38-39.
shu
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shu

激光技术在薄膜科学中的应用

  • 安徽省合肥工业大学理学院,230009

  • 摘要: 膜的一维尺寸大大小于其余两维.一般把厚度小于1μm的膜称为薄膜,反之则称为厚膜.由于薄膜材料具有许多优异性能,因此近年来薄膜科学的发展极为迅速,涌现出许多薄膜制备技术与方法,如真空蒸发沉积、磁控溅射沉积、离子束溅射沉积、金属机物化学气相沉积和分子束外延等等.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-10-18

激光技术在薄膜科学中的应用

  • 安徽省合肥工业大学理学院,230009

摘要: 膜的一维尺寸大大小于其余两维.一般把厚度小于1μm的膜称为薄膜,反之则称为厚膜.由于薄膜材料具有许多优异性能,因此近年来薄膜科学的发展极为迅速,涌现出许多薄膜制备技术与方法,如真空蒸发沉积、磁控溅射沉积、离子束溅射沉积、金属机物化学气相沉积和分子束外延等等.

English Abstract

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