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微观世界中的机械

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贾育秦, 王培霞. 2004: 微观世界中的机械, 现代物理知识, 16(5): 32-33.
引用本文: 贾育秦, 王培霞. 2004: 微观世界中的机械, 现代物理知识, 16(5): 32-33.
shu
2004: Microcosmic Mechanism, Modern Physics , 16(5): 32-33.
Citation: 2004: Microcosmic Mechanism, Modern Physics , 16(5): 32-33.
shu

微观世界中的机械

  • 太原重型机械学院,030024

Microcosmic Mechanism

  • 摘要: 微型机械加工或称微型机电系统是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统.其主要特点有:体积小(特征尺寸范围为:1μm～10mm)、重量轻、耗能低、性能稳定,惯性小、谐振频率高、响应时间短.
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-10-18

微观世界中的机械

  • 太原重型机械学院,030024

摘要: 微型机械加工或称微型机电系统是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统.其主要特点有:体积小(特征尺寸范围为:1μm～10mm)、重量轻、耗能低、性能稳定,惯性小、谐振频率高、响应时间短.

English Abstract

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