椭圆偏振测量技术及其应用

现代物理知识

椭圆偏振测量技术及其应用

王庆禄. 2003: 椭圆偏振测量技术及其应用, 现代物理知识, 15(5): 36-37.

引用本文:

王庆禄. 2003: 椭圆偏振测量技术及其应用, 现代物理知识, 15(5): 36-37.

2003: Brief Introduction and the Application of Ellipsometry, Modern Physics , 15(5): 36-37.

Citation:

2003: Brief Introduction and the Application of Ellipsometry, Modern Physics , 15(5): 36-37.

Brief Introduction and the Application of Ellipsometry

摘要: 椭圆偏振测量技术(简称椭偏技术)是利用偏振光束在界面或薄膜上反射或透射时出现偏振态的变化,研究界面或薄膜特性的一种光学方法.椭偏技术具有抗干扰性强、高灵敏度、对样品无特殊要求等优点,因而在材料科学、微电子技术、薄膜技术、物理学、化学、生物学和医学等领域有着广泛的应用.

摘要: 椭圆偏振测量技术(简称椭偏技术)是利用偏振光束在界面或薄膜上反射或透射时出现偏振态的变化,研究界面或薄膜特性的一种光学方法.椭偏技术具有抗干扰性强、高灵敏度、对样品无特殊要求等优点,因而在材料科学、微电子技术、薄膜技术、物理学、化学、生物学和医学等领域有着广泛的应用.

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