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国产氩离子枪的研发

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臧侃, 董华军, 郭方准. 2014: 国产氩离子枪的研发, 物理, null(1): 49-53. doi: 10.7693/wl20140106
引用本文: 臧侃, 董华军, 郭方准. 2014: 国产氩离子枪的研发, 物理, null(1): 49-53. doi: 10.7693/wl20140106
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ZANG Kan, DONG Hua-Jun, GUO Fang-Zhun. 2014: Development of domestic Ar ion gun, Physics, null(1): 49-53. doi: 10.7693/wl20140106
Citation: ZANG Kan, DONG Hua-Jun, GUO Fang-Zhun. 2014: Development of domestic Ar ion gun, Physics, null(1): 49-53. doi: 10.7693/wl20140106
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国产氩离子枪的研发

  • 大连交通大学 大连 116028

Development of domestic Ar ion gun

  • 摘要: 氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成，可以产生并发射氩离子束，用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析，是表面分析和纳米科技装置中的重要构成之一。文章介绍国产氩离子枪的设计原理和测试结果，氩离子的加速电压可达2 kV，在工作距离150 mm和氩气分压为2.0×10-3 Pa的情况下，可产生4.5 mA的氩离子束流，束斑的直径在10-20 mm之间可调。
    Abstract: The ion gun generates Ar ion beams with well defined space and energy distribu-tion. It is composed of ion source, extraction grid, collimator lens structure and electronics controller. It is an important equipment in surface science and nanotechnology, which provides a means to sputter or etch a surface and generates an elemental or chemical depth profile. In this article, a domestic Ar ion gun with 2 kV beam voltage and 4.5μA beam current is introduced.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-01-12

国产氩离子枪的研发

  • 大连交通大学 大连 116028

摘要: 氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成，可以产生并发射氩离子束，用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析，是表面分析和纳米科技装置中的重要构成之一。文章介绍国产氩离子枪的设计原理和测试结果，氩离子的加速电压可达2 kV，在工作距离150 mm和氩气分压为2.0×10-3 Pa的情况下，可产生4.5 mA的氩离子束流，束斑的直径在10-20 mm之间可调。

English Abstract

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