关键词: 
• 加工领域 /
• 微纳加工 /
• 纳米材料 /
• 器件特性 /
• 微观结构尺寸 /
• 纳米尺度 /
• 材料性能 /
• 加工技术 /
• 材料的物理性能 /
• 纳米结构 /
• 应用 /
• 敏感性 /
• 量子尺寸效应 /
• 物理学研究 /
• 物理工作者 /
• 高技术发展 /
• 物质运动 /
• 体积效应 /
• 生长控制 /
• 器件功能

摘要: 微纳加工领域是从事物理学研究与应用开发人员，特别是从事纳米材料与器件研究的物理工作者十分关注和重视的领域。这是由于人们在对纳米材料性能的研究中发现，性能与材料的微观结构尺寸的变化关系密切。例如，随着材料尺度的减小，由于表面效应、体积效应和量子尺寸效应的影响，材料的物理性能和采用该材料制作的器件特性等都可能表现出与宏观体相材料和相关器件特性显著不同的特点。这些特点是材料性能对微观结构尺寸变化的敏感性所导致的结果。正是由于这种敏感性，使得无论在纳米材料科学问题研究还是在纳米器件发展应用中，对材料生长控制和微加工的精确程度都提出了极为苛刻的要求。所以，需要纳米、甚至原子、分子层次的微纳加工技术，以探索材料与器件的新特性。可见，基础科学的研究发展往往需要技术科学提供强有力的支持，要想探索在纳米尺度下物质的变化规律、新的性质和器件功能及可能的应用领域，同样离不开相应的技术手段。微纳加工技术作为当今高技术发展的重要领域之一，是实现功能结构与器件微纳米化的基础。借助微纳加工，人们可以按照需求来设计、制备具有优异性能的纳米材料或纳米结构及器件与装置，发展探测和分析纳米尺度下的物理、化学和生物等现象的方法和仪器，准确地表征纳米材料或纳米结构的物性，探索纳米尺度下物质运动的新规律和新现象。