面向产业需求的21世纪微电子技术的发展(下)

王阳元; 黄如; 刘晓彦; 张兴

doi:10.3321/j.issn:0379-4148.2004.07.004

物理

面向产业需求的21世纪微电子技术的发展(下)

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王阳元, 黄如, 刘晓彦, 张兴. 2004: 面向产业需求的21世纪微电子技术的发展(下), 物理, 33(7): 480-487. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2004.07.004

引用本文:

王阳元, 黄如, 刘晓彦, 张兴. 2004: 面向产业需求的21世纪微电子技术的发展(下), 物理, 33(7): 480-487. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2004.07.004

2004: Development of microelectronics technology to meet industry needs in the 21st, Physics, 33(7): 480-487. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2004.07.004

Citation:

2004: Development of microelectronics technology to meet industry needs in the 21st, Physics, 33(7): 480-487. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2004.07.004