表面微构造的硅材料--一种新型的光电功能材料

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赵明, 苏卫锋, 赵利. 2003: 表面微构造的硅材料--一种新型的光电功能材料, 物理, 32(7): 455-457. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2003.07.007
引用本文: 赵明, 苏卫锋, 赵利. 2003: 表面微构造的硅材料--一种新型的光电功能材料, 物理, 32(7): 455-457. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2003.07.007
2003: Microstructured silicon--a new type of opto-electronic material, Physics, 32(7): 455-457. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2003.07.007
Citation: 2003: Microstructured silicon--a new type of opto-electronic material, Physics, 32(7): 455-457. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2003.07.007

表面微构造的硅材料--一种新型的光电功能材料

Microstructured silicon--a new type of opto-electronic material

  • 摘要: 在SF6气体氛围内用飞秒激光照射硅表面,可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构,形成"黑硅"新材料.初步研究表明,这种 "黑硅"新材料对波长为250-2500nm的光波有大于90%的吸收,同时它还具有相当好的场致发射特性.由于具有这些奇特的光电性质,这种表面微构造的硅材料在光电探测器、太阳能电池、平板显示器等器件制造领域有着重要的潜在应用价值.
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出版历程
  • 刊出日期:  2003-07-12

表面微构造的硅材料--一种新型的光电功能材料

  • 复旦大学物理系,应用表面物理国家重点实验室,上海,200433

摘要: 在SF6气体氛围内用飞秒激光照射硅表面,可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构,形成"黑硅"新材料.初步研究表明,这种 "黑硅"新材料对波长为250-2500nm的光波有大于90%的吸收,同时它还具有相当好的场致发射特性.由于具有这些奇特的光电性质,这种表面微构造的硅材料在光电探测器、太阳能电池、平板显示器等器件制造领域有着重要的潜在应用价值.

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