127°径向位置灵敏柱形静电离子能谱仪
A 127° Radial Position Sensitive Electrostatic Coaxial Cylindrical Spectrometer
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摘要: 针对高电荷态离子与表面作用产生的溅射离子能谱测量,研制了一台127°径向位置灵敏柱形静电离子能谱仪.利用能量为800 keV的Ar8+离子轰击金属铍靶产生的溅射离子测试了本谱仪.测试结果表明,该谱仪克服了传统静电谱仪通过扫描工作电压单能量点取谱的缺点,实现分段取谱--在单个工作电压下可同时获取一段0.85Ec≤E≤1.15Ec范围的能谱,从而提高测量效率.
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关键词:
- 同轴柱形静电离子能谱仪 /
- 径向位置灵敏 /
- 溅射离子能谱
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计量
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