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二次离子质谱的一次离子光学系统

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王亮, 徐福兴, 丁传凡. 2012: 二次离子质谱的一次离子光学系统, 质谱学报, 33(1): 1-6.
引用本文: 王亮, 徐福兴, 丁传凡. 2012: 二次离子质谱的一次离子光学系统, 质谱学报, 33(1): 1-6.
shu
WANG Liang, XU Fu-xing, DING Chuan-fan. 2012: Primary Ion Optics System for Secondary Ion Mass Spectrometry, Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 33(1): 1-6.
Citation: WANG Liang, XU Fu-xing, DING Chuan-fan. 2012: Primary Ion Optics System for Secondary Ion Mass Spectrometry, Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 33(1): 1-6.
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二次离子质谱的一次离子光学系统

  • 复旦大学化学系,上海,200433

Primary Ion Optics System for Secondary Ion Mass Spectrometry

  • 摘要: 二次离子质谱仪作为一种强大的表面分析工具,在表面分析领域有着非常广泛的应用.本文报道了一种用于二次离子质谱仪的一次离子光学系统,它可以对电子轰击电离源产生的一次离子进行有效的加速与聚焦,形成稳定的、能量在0～5 kV范围内连续可调的离子束流.同时,该光学系统可以在两种聚焦模式下工作,产生两种不同性能的离子束流.实验结果表明,采用电子轰击电离源作为一次离子源的条件,该离子光学系统能够将离子束聚焦至直径为20 μm的束斑,其一次离子束流密度最高可达到503.2 mA/cm2,可以实现对一般样品(如材料或生物样品)的表面成分分析.
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出版历程
  • 刊出日期:  2012-02-28

二次离子质谱的一次离子光学系统

  • 复旦大学化学系,上海,200433

摘要: 二次离子质谱仪作为一种强大的表面分析工具,在表面分析领域有着非常广泛的应用.本文报道了一种用于二次离子质谱仪的一次离子光学系统,它可以对电子轰击电离源产生的一次离子进行有效的加速与聚焦,形成稳定的、能量在0～5 kV范围内连续可调的离子束流.同时,该光学系统可以在两种聚焦模式下工作,产生两种不同性能的离子束流.实验结果表明,采用电子轰击电离源作为一次离子源的条件,该离子光学系统能够将离子束聚焦至直径为20 μm的束斑,其一次离子束流密度最高可达到503.2 mA/cm2,可以实现对一般样品(如材料或生物样品)的表面成分分析.

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