MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计

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杨晟辉, 张国军, 韩建军, 丁俊文, 曾瑞, 尚珍珍. 2017: MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计, 强激光与粒子束, 29(4): 66-70. doi: 10.11884/HPLPB201729.160521
引用本文: 杨晟辉, 张国军, 韩建军, 丁俊文, 曾瑞, 尚珍珍. 2017: MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计, 强激光与粒子束, 29(4): 66-70. doi: 10.11884/HPLPB201729.160521
Yang Shenghui, Zhang Guojun, Han Jianjun, Ding Junwen, Zeng Rui, Shang Zhenzhen. 2017: Design of automatic testing system for sensitivity of MEMS vector hydrophone, High Power Lase and Particle Beams, 29(4): 66-70. doi: 10.11884/HPLPB201729.160521
Citation: Yang Shenghui, Zhang Guojun, Han Jianjun, Ding Junwen, Zeng Rui, Shang Zhenzhen. 2017: Design of automatic testing system for sensitivity of MEMS vector hydrophone, High Power Lase and Particle Beams, 29(4): 66-70. doi: 10.11884/HPLPB201729.160521

MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计

Design of automatic testing system for sensitivity of MEMS vector hydrophone

  • 摘要: 针对微机电系统(MEMS)矢量水听器声压灵敏度测试中出现的测试步骤单一、测试任务繁重且耗时多,同时手动测量存在不确定的操作误差等问题,在分析矢量水听器灵敏度测试原理和测试过程的基础上,采用AD9850,AD8599,PGA205、单片机MK60DN512ZVLQ110等芯片,设计了集成信号激励源、微弱信号检测、调理以及信号采样和传输等模块的矢量水听器灵敏度自动测试装置.该装置将测试现场的仪器“缩小”,多模块功能集成,通过与PC上位机连接控制,快速、实时地完成矢量水听器灵敏度测试标定,在节约测试时间的同时,也能快速地完成对水听器的优化改进的验证;此装置体积小、轻便,测试连线简单,方便外场测试,促进MEMS水听器工程化应用.
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出版历程
  • 刊出日期:  2017-04-30

MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计

  • 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051
  • 苏州中盛纳米科技有限公司,江苏苏州,223100

摘要: 针对微机电系统(MEMS)矢量水听器声压灵敏度测试中出现的测试步骤单一、测试任务繁重且耗时多,同时手动测量存在不确定的操作误差等问题,在分析矢量水听器灵敏度测试原理和测试过程的基础上,采用AD9850,AD8599,PGA205、单片机MK60DN512ZVLQ110等芯片,设计了集成信号激励源、微弱信号检测、调理以及信号采样和传输等模块的矢量水听器灵敏度自动测试装置.该装置将测试现场的仪器“缩小”,多模块功能集成,通过与PC上位机连接控制,快速、实时地完成矢量水听器灵敏度测试标定,在节约测试时间的同时,也能快速地完成对水听器的优化改进的验证;此装置体积小、轻便,测试连线简单,方便外场测试,促进MEMS水听器工程化应用.

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