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低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器

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刘源, 王丽娟, 郭楠, 赵龙, 张文栋, 张国军. 2015: 低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器, 强激光与粒子束, 27(5): 219-223. doi: 10.11884/HPLPB201527.054102
引用本文: 刘源, 王丽娟, 郭楠, 赵龙, 张文栋, 张国军. 2015: 低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器, 强激光与粒子束, 27(5): 219-223. doi: 10.11884/HPLPB201527.054102
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Liu Yuan, Wang Lijuan, Guo Nan, Zhao Long, Zhang Wendong, Zhang Guojun. 2015: Central buoyant MEMS vector hydrophone of low-frequency and high sensitivity, High Power Lase and Particle Beams, 27(5): 219-223. doi: 10.11884/HPLPB201527.054102
Citation: Liu Yuan, Wang Lijuan, Guo Nan, Zhao Long, Zhang Wendong, Zhang Guojun. 2015: Central buoyant MEMS vector hydrophone of low-frequency and high sensitivity, High Power Lase and Particle Beams, 27(5): 219-223. doi: 10.11884/HPLPB201527.054102
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低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器

  • 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051

Central buoyant MEMS vector hydrophone of low-frequency and high sensitivity

  • 摘要: 由中北大学研制的微机电系统(MEMS)矢量水听器具有小型化、低频性能好、灵敏度高、指向性好、价格低等特点,但目前该水听器对该低频水声信号的低频探测能力不够,所以进一步提高其灵敏度对水听器的未来的发展至关重要.在声学研究的基础上,提出了中性浮力微结构并确定其参数,该结构加大了外力的有效作用面积,从而提高水听器的灵敏度,采用ANSYS有限元对水听器性能进行仿真,为了验证其可靠性,在驻波场测试水听器的性能.结果表明,该水听器的灵敏度-175 dB,频响范围为20～500 Hz,满足对远距离船舶辐射噪声的探测要求,灵敏度响应曲线的起伏在±1.5 dB以内,具有良好的“8”字型指向性,凹点深度为48.8 dB.
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出版历程
  • 刊出日期:  2015-05-30

低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器

  • 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051

摘要: 由中北大学研制的微机电系统(MEMS)矢量水听器具有小型化、低频性能好、灵敏度高、指向性好、价格低等特点,但目前该水听器对该低频水声信号的低频探测能力不够,所以进一步提高其灵敏度对水听器的未来的发展至关重要.在声学研究的基础上,提出了中性浮力微结构并确定其参数,该结构加大了外力的有效作用面积,从而提高水听器的灵敏度,采用ANSYS有限元对水听器性能进行仿真,为了验证其可靠性,在驻波场测试水听器的性能.结果表明,该水听器的灵敏度-175 dB,频响范围为20～500 Hz,满足对远距离船舶辐射噪声的探测要求,灵敏度响应曲线的起伏在±1.5 dB以内,具有良好的“8”字型指向性,凹点深度为48.8 dB.

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