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磨削加工光学元件亚表面损伤探究

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叶卉, 杨炜, 胡陈林, 毕果, 彭云峰, 许乔. 2014: 磨削加工光学元件亚表面损伤探究, 强激光与粒子束, 26(9): 186-191. doi: 10.11884/HPLPB201426.092010
引用本文: 叶卉, 杨炜, 胡陈林, 毕果, 彭云峰, 许乔. 2014: 磨削加工光学元件亚表面损伤探究, 强激光与粒子束, 26(9): 186-191. doi: 10.11884/HPLPB201426.092010
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Ye Hui, Yang Wei, Hu Chenlin, Bi Guo, Peng Yunfeng, Xu Qiao. 2014: Subsurface damage of ground optical elements, High Power Lase and Particle Beams, 26(9): 186-191. doi: 10.11884/HPLPB201426.092010
Citation: Ye Hui, Yang Wei, Hu Chenlin, Bi Guo, Peng Yunfeng, Xu Qiao. 2014: Subsurface damage of ground optical elements, High Power Lase and Particle Beams, 26(9): 186-191. doi: 10.11884/HPLPB201426.092010
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磨削加工光学元件亚表面损伤探究

  • 厦门大学机电工程系,福建厦门,361005

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

Subsurface damage of ground optical elements

  • 摘要: 对磨削加工的K9材料试件进行亚表面损伤探究,分析磨削加工产生亚表面损伤的原因.分别用亚表面损伤深度预测法、分阶刻蚀法预测和检测元件亚表面损伤深度,并分析切深、工作台进给速度、砂轮转速等参数对亚表面损伤深度的影响.研究表明,分阶刻蚀法直观有效,与亚表面损伤深度预测法的结果一致性较好.在本文实验条件下,自行加工K9试件的亚表面损伤深度随切深增大而加深,随工作台进给速度增大而有所增加,砂轮转速对亚表面损伤深度影响并不明显.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-09-30

磨削加工光学元件亚表面损伤探究

  • 厦门大学机电工程系,福建厦门,361005
  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900

摘要: 对磨削加工的K9材料试件进行亚表面损伤探究,分析磨削加工产生亚表面损伤的原因.分别用亚表面损伤深度预测法、分阶刻蚀法预测和检测元件亚表面损伤深度,并分析切深、工作台进给速度、砂轮转速等参数对亚表面损伤深度的影响.研究表明,分阶刻蚀法直观有效,与亚表面损伤深度预测法的结果一致性较好.在本文实验条件下,自行加工K9试件的亚表面损伤深度随切深增大而加深,随工作台进给速度增大而有所增加,砂轮转速对亚表面损伤深度影响并不明显.

English Abstract

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