采用AlSb缓冲层生长2.3μmInGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构
Growing of 2.3 μm InGaAsSb/AlGaAsSb multi-quantum-well via AlSb buffers
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摘要: 针对常见的GaSb衬底的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构进行了设计和外延生长.样品通过X-射线测试,有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱结构的均匀性和界面质量较好,引入AlSb缓冲层可以降低衬底与外延层之间的界面自由能,使AlSb起到了一个滤板的作用,抑制了位错的扩散.光荧光谱测试表明,室温下量子阱结构中心发光波长在2.3 μm附近.
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关键词:
- AlSb缓冲层 /
- InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱 /
- 中红外 /
- 锑化物
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计量
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