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不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性

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马平, 陈松林, 胡建平, 王震, 邵建达. 2009: 不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性, 强激光与粒子束, 21(12): 1829-1832.
引用本文: 马平, 陈松林, 胡建平, 王震, 邵建达. 2009: 不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性, 强激光与粒子束, 21(12): 1829-1832.
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2009: Laser induced damage of high reflective coatings prepared by different deposition methods in vacuum and air, High Power Lase and Particle Beams, 21(12): 1829-1832.
Citation: 2009: Laser induced damage of high reflective coatings prepared by different deposition methods in vacuum and air, High Power Lase and Particle Beams, 21(12): 1829-1832.
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不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性

  • 中国科学院 上海光学精密机械研究所,上海 201800;成都精密光学工程研究中心,成都 610041;中国科学院 研究生院,北京 100039

  • 成都精密光学工程研究中心,成都,610041

  • 中国科学院 上海光学精密机械研究所,上海,201800

Laser induced damage of high reflective coatings prepared by different deposition methods in vacuum and air

  • 摘要: 建立了光学元件在真空环境下的激光损伤测量系统,采用电子束蒸发和离子辅助技术制备了HfO_2/SiO_2高反射薄膜.对不同工艺制备的薄膜在真空与大气环境下的1 064 nm波长的激光损伤阈值进行了测量,对薄膜的损伤形貌进行了观测.对薄膜的损伤特性研究分析结果表明:薄膜在真空环境中的损伤阈值相对大气环境中有明显下降,其1∶1测试和R∶1测试损伤阈值下降约30%;两种环境中的薄膜损伤特性也不同,真空环境中损伤阈值的下降可能与热传导的不同有关.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-12-30

不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性

  • 中国科学院 上海光学精密机械研究所,上海 201800;成都精密光学工程研究中心,成都 610041;中国科学院 研究生院,北京 100039
  • 成都精密光学工程研究中心,成都,610041
  • 中国科学院 上海光学精密机械研究所,上海,201800

摘要: 建立了光学元件在真空环境下的激光损伤测量系统,采用电子束蒸发和离子辅助技术制备了HfO_2/SiO_2高反射薄膜.对不同工艺制备的薄膜在真空与大气环境下的1 064 nm波长的激光损伤阈值进行了测量,对薄膜的损伤形貌进行了观测.对薄膜的损伤特性研究分析结果表明:薄膜在真空环境中的损伤阈值相对大气环境中有明显下降,其1∶1测试和R∶1测试损伤阈值下降约30%;两种环境中的薄膜损伤特性也不同,真空环境中损伤阈值的下降可能与热传导的不同有关.

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