镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应

祝沛; 沈卫星; 陈卫华; 张伟

强激光与粒子束

镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应

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祝沛, 沈卫星, 陈卫华, 张伟. 2009: 镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应, 强激光与粒子束, 21(6): 851-854.

引用本文:

祝沛, 沈卫星, 陈卫华, 张伟. 2009: 镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应, 强激光与粒子束, 21(6): 851-854.

Zhu Pei, Shen Weixing, Chen Weihua, Zhang Wei. 2009: Aging and humidity effects of optical surface deformation after deposition, High Power Lase and Particle Beams, 21(6): 851-854.

Citation:

Zhu Pei, Shen Weixing, Chen Weihua, Zhang Wei. 2009: Aging and humidity effects of optical surface deformation after deposition, High Power Lase and Particle Beams, 21(6): 851-854.

镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应

中国科学院,上海光学精密机械研究所,高功率激光物理联合实验室,上海,201800

Aging and humidity effects of optical surface deformation after deposition

摘要: 对镀制强激光薄膜的光学元件在外界环境中时,表面面形发生的变化进行了研究.理论分析了表面面形的变化机制,明确水致应力具有物理和化学两种形成机制,是改变镀膜元件面形的主要因素;实验研究了镀制激光高反膜的K9材料元件存放过程中面形变化趋势,发现这种趋势变化具有时间效应和湿度效应.
- 薄膜 /
- 水致应力 /
- 面形 /
- 时间效应 /
- 湿度效应