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LaB6场发射阵列牺牲层制备工艺

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代令, 祁康成, 林祖伦, 陈文彬, 李东方. 2009: LaB6场发射阵列牺牲层制备工艺, 强激光与粒子束, 21(6): 923-926.
引用本文: 代令, 祁康成, 林祖伦, 陈文彬, 李东方. 2009: LaB6场发射阵列牺牲层制备工艺, 强激光与粒子束, 21(6): 923-926.
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Dai Ling, Qi Kangcheng, Lin Zulun, Chen Wenbin, Li Dongfang. 2009: Fabrication technology of sacrificial layer in LaB6 field emission arrays, High Power Lase and Particle Beams, 21(6): 923-926.
Citation: Dai Ling, Qi Kangcheng, Lin Zulun, Chen Wenbin, Li Dongfang. 2009: Fabrication technology of sacrificial layer in LaB6 field emission arrays, High Power Lase and Particle Beams, 21(6): 923-926.
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LaB6场发射阵列牺牲层制备工艺

  • 电子科技大学,光电信息学院,成都,610054

Fabrication technology of sacrificial layer in LaB6 field emission arrays

  • 摘要: 分析了传统牺牲层材料铝在制备LaB6场发射阵列时存在的问题,利用溅射及热蒸发工艺依次制备铝膜和氧化锌膜,制备出了一种新型的牺牲层--ZnO-Al复合牺牲层,并对所制备的阵列进行了测试.实验结果表明:ZnO-Al复合牺牲层能够有效地解决电化学腐蚀的问题,所制备出的LaB6场发射阵列尖锥保持了完好的形貌,其发射特性也达到了最初制备场发射阵列的要求,说明ZnO-Al复合牺牲层是作为LaB6场发射阵列牺牲层的理想材料.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-06-30

LaB6场发射阵列牺牲层制备工艺

  • 电子科技大学,光电信息学院,成都,610054

摘要: 分析了传统牺牲层材料铝在制备LaB6场发射阵列时存在的问题,利用溅射及热蒸发工艺依次制备铝膜和氧化锌膜,制备出了一种新型的牺牲层--ZnO-Al复合牺牲层,并对所制备的阵列进行了测试.实验结果表明:ZnO-Al复合牺牲层能够有效地解决电化学腐蚀的问题,所制备出的LaB6场发射阵列尖锥保持了完好的形貌,其发射特性也达到了最初制备场发射阵列的要求,说明ZnO-Al复合牺牲层是作为LaB6场发射阵列牺牲层的理想材料.

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