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Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响

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李盛印, 吴卫东, 王锋, 王雪敏, 唐永建, 孙卫国. 2008: Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响, 强激光与粒子束, 20(12): 2027-2031.
引用本文: 李盛印, 吴卫东, 王锋, 王雪敏, 唐永建, 孙卫国. 2008: Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响, 强激光与粒子束, 20(12): 2027-2031.
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LI Sheng-yin, WU Wei-dong, WANG Feng, WANG Xue-min, TANG Yong-jian, SUN Wei-guo. 2008: Effects of Fe-embedding on microstructure and electrical properties of diamond like carbon films, High Power Lase and Particle Beams, 20(12): 2027-2031.
Citation: LI Sheng-yin, WU Wei-dong, WANG Feng, WANG Xue-min, TANG Yong-jian, SUN Wei-guo. 2008: Effects of Fe-embedding on microstructure and electrical properties of diamond like carbon films, High Power Lase and Particle Beams, 20(12): 2027-2031.
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Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响

  • 四川大学,原子与分子物理研究所,成都,610065;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 四川大学,原子与分子物理研究所,成都,610065

Effects of Fe-embedding on microstructure and electrical properties of diamond like carbon films

  • 摘要: 采用脉冲激光气相沉积方法制备了不同Fe嵌埋浓度的Fe:DLC多层纳米复合薄膜.用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的组成成分进行分析.利用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱、电流一电压曲线研究Fe纳米颗粒嵌埋对薄膜的微观结构及电学性能的影响.XPS和TEM表明,Fe纳米颗粒周期性地均匀地嵌埋在碳薄膜中.拉曼光谱表明薄膜中的C为典型的类金刚石结构,Fe纳米颗粒促进芳香环式结构的形成,薄膜结构的有序度提高.电流一电压曲线表明,Fe纳米颗粒的嵌埋导致薄膜的室温电导率增加.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-12-30

Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响

  • 四川大学,原子与分子物理研究所,成都,610065;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 四川大学,原子与分子物理研究所,成都,610065

摘要: 采用脉冲激光气相沉积方法制备了不同Fe嵌埋浓度的Fe:DLC多层纳米复合薄膜.用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的组成成分进行分析.利用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱、电流一电压曲线研究Fe纳米颗粒嵌埋对薄膜的微观结构及电学性能的影响.XPS和TEM表明,Fe纳米颗粒周期性地均匀地嵌埋在碳薄膜中.拉曼光谱表明薄膜中的C为典型的类金刚石结构,Fe纳米颗粒促进芳香环式结构的形成,薄膜结构的有序度提高.电流一电压曲线表明,Fe纳米颗粒的嵌埋导致薄膜的室温电导率增加.

English Abstract

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