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单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜的分辨率模型

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伊圣振, 穆宝忠, 王新, 黄圣铃, 王占山. 2008: 单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜的分辨率模型, 强激光与粒子束, 20(11): 1872-1876.
引用本文: 伊圣振, 穆宝忠, 王新, 黄圣铃, 王占山. 2008: 单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜的分辨率模型, 强激光与粒子束, 20(11): 1872-1876.
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YI Sheng-zhen, MU Bao-zhong, WANG Xin, HUANG Sheng-ling, WANG Zhan-shan. 2008: Resolution model of Kirkpatrick-Baez microscope with single-layer films, High Power Lase and Particle Beams, 20(11): 1872-1876.
Citation: YI Sheng-zhen, MU Bao-zhong, WANG Xin, HUANG Sheng-ling, WANG Zhan-shan. 2008: Resolution model of Kirkpatrick-Baez microscope with single-layer films, High Power Lase and Particle Beams, 20(11): 1872-1876.
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单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜的分辨率模型

  • 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092

Resolution model of Kirkpatrick-Baez microscope with single-layer films

  • 摘要: 分析了几何像差、衍射效应和光学加工精度等因素对不同工作能点的单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像质量的影响,构建了该显微镜的均方根空间分辨率模型,用Ir单层膜KB显微镜获得了8 keV能量的X射线成像结果,其中心视场的分辨率约为2 μm,±50 μm视场的分辨率优于5 μm.实验结果与分辨率模型的对比表明,中心视场的分辨率受球差、衍射效应和反射镜加工精度的综合影响,边缘视场的分辨率主要由系统的几何像差决定.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-11-30

单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜的分辨率模型

  • 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092

摘要: 分析了几何像差、衍射效应和光学加工精度等因素对不同工作能点的单层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像质量的影响,构建了该显微镜的均方根空间分辨率模型,用Ir单层膜KB显微镜获得了8 keV能量的X射线成像结果,其中心视场的分辨率约为2 μm,±50 μm视场的分辨率优于5 μm.实验结果与分辨率模型的对比表明,中心视场的分辨率受球差、衍射效应和反射镜加工精度的综合影响,边缘视场的分辨率主要由系统的几何像差决定.

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