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超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响

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杨炜, 郭隐彪, 许乔, 李亚国. 2008: 超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响, 强激光与粒子束, 20(10): 1653-1657.
引用本文: 杨炜, 郭隐彪, 许乔, 李亚国. 2008: 超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响, 强激光与粒子束, 20(10): 1653-1657.
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YANG Wei, GUO Yin-biao, XU Qiao, LI Ya-guo. 2008: Edge effects on material removal amount in ultra precise polishing process, High Power Lase and Particle Beams, 20(10): 1653-1657.
Citation: YANG Wei, GUO Yin-biao, XU Qiao, LI Ya-guo. 2008: Edge effects on material removal amount in ultra precise polishing process, High Power Lase and Particle Beams, 20(10): 1653-1657.
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超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响

  • 厦门大学,机电工程系,福建,厦门,361005

  • 成都精密光学工程研究中心,成都,610041

Edge effects on material removal amount in ultra precise polishing process

  • 摘要: 传统环抛加工一般将工件整个包围在抛光盘内,加工之后虽然可以获得较好的工件表面,但是需耗费较多的时间,生产效率较低.针对这种情况,借助PPS快速抛光机床,依据Preston公式,对露出抛光盘的工件部分,即对所谓的边缘效应进行研究,用新的表面模型表示非线性压强分布,合理地避开了线性模型造成的压强负值问题.并且对工件材料去除量进行仿真计算,建立了新的去除模型,得出了偏心距、工件半径和抛光盘转速比值对材料去除量的影响.根据此模型,选择适当的偏心距和转速比对工件进行加工,可获得较好面型.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-10-30

超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响

  • 厦门大学,机电工程系,福建,厦门,361005
  • 成都精密光学工程研究中心,成都,610041

摘要: 传统环抛加工一般将工件整个包围在抛光盘内,加工之后虽然可以获得较好的工件表面,但是需耗费较多的时间,生产效率较低.针对这种情况,借助PPS快速抛光机床,依据Preston公式,对露出抛光盘的工件部分,即对所谓的边缘效应进行研究,用新的表面模型表示非线性压强分布,合理地避开了线性模型造成的压强负值问题.并且对工件材料去除量进行仿真计算,建立了新的去除模型,得出了偏心距、工件半径和抛光盘转速比值对材料去除量的影响.根据此模型,选择适当的偏心距和转速比对工件进行加工,可获得较好面型.

English Abstract

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