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跳动模式对微球CH涂层表面粗糙度的影响

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张宝玲, 何智兵, 吴卫东, 刘兴华, 杨向东, 马小军, 杨蒙生, 林华平. 2008: 跳动模式对微球CH涂层表面粗糙度的影响, 强激光与粒子束, 20(7): 1109-1113.
引用本文: 张宝玲, 何智兵, 吴卫东, 刘兴华, 杨向东, 马小军, 杨蒙生, 林华平. 2008: 跳动模式对微球CH涂层表面粗糙度的影响, 强激光与粒子束, 20(7): 1109-1113.
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ZHANG Bao-ling, HE Zhi-bing, WU Wei-dong, LIU Xing-hua, YANG Xiang-dong, MA Xiao-jua, YANG Meng-sheng, LIN Hua-ping. 2008: Influence of bounce mode on surface roughness of CH coating on microshells, High Power Lase and Particle Beams, 20(7): 1109-1113.
Citation: ZHANG Bao-ling, HE Zhi-bing, WU Wei-dong, LIU Xing-hua, YANG Xiang-dong, MA Xiao-jua, YANG Meng-sheng, LIN Hua-ping. 2008: Influence of bounce mode on surface roughness of CH coating on microshells, High Power Lase and Particle Beams, 20(7): 1109-1113.
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跳动模式对微球CH涂层表面粗糙度的影响

  • 四川大学原子与分子物理研究所,成都,610065;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 四川大学原子与分子物理研究所,成都,610065

Influence of bounce mode on surface roughness of CH coating on microshells

  • 摘要: 采用低压等离子体化学气相沉积方法(LPPCVD),结合反弹盘系统制备了微球CH涂层.研究了跳动模式对微球CH涂层表面形貌的影响.利用光学显微镜和扫描电镜(SEM)对微球涂层表面形貌进行了分析;利用原子力显微镜(AFM)测定了微球CH涂层表面均方根粗糙度(RMS)并对球形度进行了表征;利用X光照相技术对同心度进行了表征.结果表明:采用间歇跳动模式可有效改善微球CH涂层的表面形貌,降低中高模数的粗糙度.在间歇跳动模式下,减小占空比,可使CH涂层的表面粗糙度得到进一步降低.在占空比为1/4的间歇跳动模式下制备的厚度为30 μm的CH涂层,其表面均方根粗糙度低于30 nm,碳氢一聚苯乙烯(CH-PS)微球的球形度与同心度均优于99%.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-07-30

跳动模式对微球CH涂层表面粗糙度的影响

  • 四川大学原子与分子物理研究所,成都,610065;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 四川大学原子与分子物理研究所,成都,610065

摘要: 采用低压等离子体化学气相沉积方法(LPPCVD),结合反弹盘系统制备了微球CH涂层.研究了跳动模式对微球CH涂层表面形貌的影响.利用光学显微镜和扫描电镜(SEM)对微球涂层表面形貌进行了分析;利用原子力显微镜(AFM)测定了微球CH涂层表面均方根粗糙度(RMS)并对球形度进行了表征;利用X光照相技术对同心度进行了表征.结果表明:采用间歇跳动模式可有效改善微球CH涂层的表面形貌,降低中高模数的粗糙度.在间歇跳动模式下,减小占空比,可使CH涂层的表面粗糙度得到进一步降低.在占空比为1/4的间歇跳动模式下制备的厚度为30 μm的CH涂层,其表面均方根粗糙度低于30 nm,碳氢一聚苯乙烯(CH-PS)微球的球形度与同心度均优于99%.

English Abstract

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