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溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理

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章春来, 祖小涛, 蒋晓东, 袁晓东, 王毕艺, 宴良宏, 张洪亮, 徐世珍, 田东斌, 尹伟, 赵松楠, 吕海兵. 2008: 溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理, 强激光与粒子束, 20(6): 956-960.
引用本文: 章春来, 祖小涛, 蒋晓东, 袁晓东, 王毕艺, 宴良宏, 张洪亮, 徐世珍, 田东斌, 尹伟, 赵松楠, 吕海兵. 2008: 溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理, 强激光与粒子束, 20(6): 956-960.
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ZHANG Chun-lai, ZU Xiao-tao, JIANG Xiao-dong, YUAN Xiao-dong, WANG Bi-yi, YAN Liang-hong, ZHANG Hong-liang, XU Shi-zhen, TIAN Dong-bin, YIN Wei, ZHAO Song-nan, L(U) Hai-bing. 2008: SiO2 sol-gel films after ammonia and heat two-step treatments, High Power Lase and Particle Beams, 20(6): 956-960.
Citation: ZHANG Chun-lai, ZU Xiao-tao, JIANG Xiao-dong, YUAN Xiao-dong, WANG Bi-yi, YAN Liang-hong, ZHANG Hong-liang, XU Shi-zhen, TIAN Dong-bin, YIN Wei, ZHAO Song-nan, L(U) Hai-bing. 2008: SiO2 sol-gel films after ammonia and heat two-step treatments, High Power Lase and Particle Beams, 20(6): 956-960.
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溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理

  • 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

SiO2 sol-gel films after ammonia and heat two-step treatments

  • 摘要: 以正硅酸乙酯为前驱体,氨水作催化剂,采用溶胶-凝胶法提拉镀制SiO2双面膜,对薄膜进行氨处理和热处理.采用椭偏仪、分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪表征薄膜的特性.研究表明:经氨热两步后处理,膜厚持续减小,折射率经氨处理先增大了0.236,再经热处理又减小了0.202,膜层透光性变好,透过率峰值持续向短波方向移动;经两步后处理的膜面平整度明显变好,与水的接触角先增大到58.92°后减小到38.07°.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-06-30

溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理

  • 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 以正硅酸乙酯为前驱体,氨水作催化剂,采用溶胶-凝胶法提拉镀制SiO2双面膜,对薄膜进行氨处理和热处理.采用椭偏仪、分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪表征薄膜的特性.研究表明:经氨热两步后处理,膜厚持续减小,折射率经氨处理先增大了0.236,再经热处理又减小了0.202,膜层透光性变好,透过率峰值持续向短波方向移动;经两步后处理的膜面平整度明显变好,与水的接触角先增大到58.92°后减小到38.07°.

English Abstract

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