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溶胶-凝胶法制备高折射率TiO2薄膜

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盛永刚, 徐耀, 张磊, 梁丽萍, 吴东, 孙予罕, 蒋晓东, 魏晓峰. 2008: 溶胶-凝胶法制备高折射率TiO2薄膜, 强激光与粒子束, 20(1): 75-78.
引用本文: 盛永刚, 徐耀, 张磊, 梁丽萍, 吴东, 孙予罕, 蒋晓东, 魏晓峰. 2008: 溶胶-凝胶法制备高折射率TiO2薄膜, 强激光与粒子束, 20(1): 75-78.
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SHENG Yong-gang, XU Yao, ZHANG Lei, LIANG Li-ping, WU Dong, SUN Yu-han, JIANG Xiao-dong, WEI Xiao-feng. 2008: Preparation of high refractive index TiO2 thin film via sol-gel process, High Power Lase and Particle Beams, 20(1): 75-78.
Citation: SHENG Yong-gang, XU Yao, ZHANG Lei, LIANG Li-ping, WU Dong, SUN Yu-han, JIANG Xiao-dong, WEI Xiao-feng. 2008: Preparation of high refractive index TiO2 thin film via sol-gel process, High Power Lase and Particle Beams, 20(1): 75-78.
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溶胶-凝胶法制备高折射率TiO2薄膜

  • 中国科学院,山西煤炭化学研究所,煤转化国家重点实验室,太原,030001;中国科学院,研究生院,北京,100049

  • 中国科学院,山西煤炭化学研究所,煤转化国家重点实验室,太原,030001

  • 中国科学院,山西煤炭化学研究所,煤转化国家重点实验室,太原,030001;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;中国科学院,研究生院,北京,100049

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

Preparation of high refractive index TiO2 thin film via sol-gel process

  • 摘要: 采用溶胶- 凝胶法制备了TiO2纳米晶溶胶,并以旋涂法(spin-coating)镀制了高折射率光学薄膜.借助光散射技术和透射电镜研究了溶胶的微结构.采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、紫外-可见-近红外光谱仪、椭偏仪、漫反射吸收光谱及强激光辐照实验,对膜层的结构、光学性能及抗激光损伤性能进行了系统的表征.结果显示:纳米晶薄膜的折射率达到了1.9,而传统的溶胶-凝胶薄膜折射率只有1.6;同时纳米晶薄膜的抗激光损伤阈值与传统的溶胶-凝胶薄膜相差不大,在1 064 nm处分别为16.3 J/cm2(3 ns脉冲) 和16.6 J/cm2(3 ns脉冲);纳米晶溶胶薄膜可以在保持较高抗激光损伤阈值情况下,大幅度提高薄膜折射率.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-01-30

溶胶-凝胶法制备高折射率TiO2薄膜

  • 中国科学院,山西煤炭化学研究所,煤转化国家重点实验室,太原,030001;中国科学院,研究生院,北京,100049
  • 中国科学院,山西煤炭化学研究所,煤转化国家重点实验室,太原,030001
  • 中国科学院,山西煤炭化学研究所,煤转化国家重点实验室,太原,030001;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;中国科学院,研究生院,北京,100049
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 采用溶胶- 凝胶法制备了TiO2纳米晶溶胶,并以旋涂法(spin-coating)镀制了高折射率光学薄膜.借助光散射技术和透射电镜研究了溶胶的微结构.采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、紫外-可见-近红外光谱仪、椭偏仪、漫反射吸收光谱及强激光辐照实验,对膜层的结构、光学性能及抗激光损伤性能进行了系统的表征.结果显示:纳米晶薄膜的折射率达到了1.9,而传统的溶胶-凝胶薄膜折射率只有1.6;同时纳米晶薄膜的抗激光损伤阈值与传统的溶胶-凝胶薄膜相差不大,在1 064 nm处分别为16.3 J/cm2(3 ns脉冲) 和16.6 J/cm2(3 ns脉冲);纳米晶溶胶薄膜可以在保持较高抗激光损伤阈值情况下,大幅度提高薄膜折射率.

English Abstract

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