软X光多层镜反射率在同步辐射源上的标定
Reflectivity calibration of soft X-ray multilayer mirror in Beijing Synchrotron Radiation Facility
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摘要: 软X光多层镜反射率标定实验在北京同步辐射装置上进行,利用BSRF-3W1B 束线及其反射率计靶室(主靶室)标定不同材料的多层镜样品的反射率.多层镜的标定采用波长扫描法,以得到样品反射率随波长变化的曲线.给出了21°-B4C/Si,21°-B4C/Mo,10°-Cr/Ti,15°- B4C/W,10°- B4C/W以及6.86°-B4C/W等6块多层镜在50~1 500 eV能段上的反射率标定曲线,并将其与理论计算结果进行比较.结果表明:标定曲线与理论曲线很好地符合.影响标定结果的总不确定度的主要因素是光子能量不确定度,其次是角度不确定度,测量不确定度的影响很小.
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