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LBO晶体上1 064,532 nm倍频增透膜的镀制及性能分析

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邓震霞, 贺洪波, 宋永香, 杨燕静, 范正修, 邵建达. 2007: LBO晶体上1 064,532 nm倍频增透膜的镀制及性能分析, 强激光与粒子束, 19(8): 1325-1328.
引用本文: 邓震霞, 贺洪波, 宋永香, 杨燕静, 范正修, 邵建达. 2007: LBO晶体上1 064,532 nm倍频增透膜的镀制及性能分析, 强激光与粒子束, 19(8): 1325-1328.
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DENG Zhen-xia, HE Hong-bo, SONG Yong-xiang, YANG Yan-jing, FAN Zheng-xiu, SHAO Jian-da. 2007: Fabrication and performance evaluation of 1 064, 532 nm frequency-doubled antireflection coating for LBO crystal, High Power Lase and Particle Beams, 19(8): 1325-1328.
Citation: DENG Zhen-xia, HE Hong-bo, SONG Yong-xiang, YANG Yan-jing, FAN Zheng-xiu, SHAO Jian-da. 2007: Fabrication and performance evaluation of 1 064, 532 nm frequency-doubled antireflection coating for LBO crystal, High Power Lase and Particle Beams, 19(8): 1325-1328.
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LBO晶体上1 064,532 nm倍频增透膜的镀制及性能分析

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,光学薄膜技术研究与发展中心,上海,201800

Fabrication and performance evaluation of 1 064, 532 nm frequency-doubled antireflection coating for LBO crystal

  • 摘要: 用电子束蒸发沉积方法在X切LBO(X-LBO)晶体上镀制了两种不同膜系结构的1 064和532 nm倍频增透膜,其中一种膜系结构为基底/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,另一种为基底/0.5Al2O3/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,两种膜系结构的主要差别在于有无氧化铝过渡层.测量了薄膜的反射率光谱曲线,发现两种增透膜在1 064和532 nm处的反射率均小于0.5%,实际镀制结果与理论设计曲线的差异主要是由材料折射率的变化引起的.且对样品在空气环境中进行了温度为473 K的退火处理,结果发现两种膜系结构均表现了较优异的光学性能,氧化铝过渡层的加入使薄膜具有强的热应力性能.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-08-30

LBO晶体上1 064,532 nm倍频增透膜的镀制及性能分析

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,光学薄膜技术研究与发展中心,上海,201800

摘要: 用电子束蒸发沉积方法在X切LBO(X-LBO)晶体上镀制了两种不同膜系结构的1 064和532 nm倍频增透膜,其中一种膜系结构为基底/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,另一种为基底/0.5Al2O3/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,两种膜系结构的主要差别在于有无氧化铝过渡层.测量了薄膜的反射率光谱曲线,发现两种增透膜在1 064和532 nm处的反射率均小于0.5%,实际镀制结果与理论设计曲线的差异主要是由材料折射率的变化引起的.且对样品在空气环境中进行了温度为473 K的退火处理,结果发现两种膜系结构均表现了较优异的光学性能,氧化铝过渡层的加入使薄膜具有强的热应力性能.

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