高级搜索

电容器薄膜等离子体表面改性实验研究

,  ,  ,  ,  , 

downloadPDF

上一篇

下一篇

戴玲, 林福昌, 尹婷, 严飞, 王磊, 韩永霞. 2007: 电容器薄膜等离子体表面改性实验研究, 强激光与粒子束, 19(8): 1399-1403.
引用本文: 戴玲, 林福昌, 尹婷, 严飞, 王磊, 韩永霞. 2007: 电容器薄膜等离子体表面改性实验研究, 强激光与粒子束, 19(8): 1399-1403.
shu
DAI Ling, LIN Fu-chang, YIN Ting, YAN Fei, WANG Lei, HAN Yong-xia. 2007: Experimental study of plasma surface treatment on capacitor film, High Power Lase and Particle Beams, 19(8): 1399-1403.
Citation: DAI Ling, LIN Fu-chang, YIN Ting, YAN Fei, WANG Lei, HAN Yong-xia. 2007: Experimental study of plasma surface treatment on capacitor film, High Power Lase and Particle Beams, 19(8): 1399-1403.
shu

电容器薄膜等离子体表面改性实验研究

  • 华中科技大学,电气与电子工程学院,武汉,430074

Experimental study of plasma surface treatment on capacitor film

  • 摘要: 建立了一套辉光放电等离子体对电容器薄膜进行表面处理的装置.采用N2,O2及Ar三种气体对聚丙烯、聚酯和聚苯硫醚膜进行了表面处理.红外光谱分析表明:薄膜表面的生成物与薄膜种类、气体种类和处理强度密切相关.场扫描电镜显示了薄膜表面的刻蚀现象明显.处理过的薄膜,非晶相被去除,球晶暴露.能谱分析说明了薄膜中C元素下降,N,O元素增加,但总体改变量很小.处理前后薄膜的直流击穿电压没有明显改变,但刻蚀过程造成的薄膜表面粗化可帮助电容器的浸渍过程更充分,从而可提高电容器的使用场强与储能密度.
  • 加载中
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  396
  • HTML全文浏览数:  73
  • PDF下载数:  64
  • 施引文献:  0
出版历程
  • 刊出日期:  2007-08-30

电容器薄膜等离子体表面改性实验研究

  • 华中科技大学,电气与电子工程学院,武汉,430074

摘要: 建立了一套辉光放电等离子体对电容器薄膜进行表面处理的装置.采用N2,O2及Ar三种气体对聚丙烯、聚酯和聚苯硫醚膜进行了表面处理.红外光谱分析表明:薄膜表面的生成物与薄膜种类、气体种类和处理强度密切相关.场扫描电镜显示了薄膜表面的刻蚀现象明显.处理过的薄膜,非晶相被去除,球晶暴露.能谱分析说明了薄膜中C元素下降,N,O元素增加,但总体改变量很小.处理前后薄膜的直流击穿电压没有明显改变,但刻蚀过程造成的薄膜表面粗化可帮助电容器的浸渍过程更充分,从而可提高电容器的使用场强与储能密度.

English Abstract

    全文HTML

参考文献 (0)

目录

/

返回文章
返回