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电子束重复增量扫描曝光技术

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孔祥东, 冯圣玉, 卢文娟, 张玉林. 2007: 电子束重复增量扫描曝光技术, 强激光与粒子束, 19(3): 503-506.
引用本文: 孔祥东, 冯圣玉, 卢文娟, 张玉林. 2007: 电子束重复增量扫描曝光技术, 强激光与粒子束, 19(3): 503-506.
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KONG Xiang-dong, FENG Sheng-yu, LU Wen-juan, ZHANG Yu-lin. 2007: Electron beam lithography based on overlapped increment scanning, High Power Lase and Particle Beams, 19(3): 503-506.
Citation: KONG Xiang-dong, FENG Sheng-yu, LU Wen-juan, ZHANG Yu-lin. 2007: Electron beam lithography based on overlapped increment scanning, High Power Lase and Particle Beams, 19(3): 503-506.
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电子束重复增量扫描曝光技术

  • 山东大学,化学与化工学院,济南,250100;东营职业学院,科研处,山东,东营,257091

  • 山东大学,化学与化工学院,济南,250100

  • 山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061

Electron beam lithography based on overlapped increment scanning

  • 摘要: 提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念,对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大.以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用20 keV能量的电子束对570 nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了7次重复增量扫描曝光实验,得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥3维结构,证明了电子束重复增量扫描曝光技术的可行性,为电子束加工3维结构提供了新工艺.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-03-30

电子束重复增量扫描曝光技术

  • 山东大学,化学与化工学院,济南,250100;东营职业学院,科研处,山东,东营,257091
  • 山东大学,化学与化工学院,济南,250100
  • 山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061

摘要: 提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念,对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大.以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用20 keV能量的电子束对570 nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了7次重复增量扫描曝光实验,得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥3维结构,证明了电子束重复增量扫描曝光技术的可行性,为电子束加工3维结构提供了新工艺.

English Abstract

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