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基底对光学薄膜弱吸收测量的影响

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李霞, 贺洪波, 赵元安, 范正修. 2007: 基底对光学薄膜弱吸收测量的影响, 强激光与粒子束, 19(2): 257-261.
引用本文: 李霞, 贺洪波, 赵元安, 范正修. 2007: 基底对光学薄膜弱吸收测量的影响, 强激光与粒子束, 19(2): 257-261.
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LI Xia, HE Hong-Bo, ZHAO Yuan-an, FAN Zheng-xiu. 2007: Substrate effects on measurement of weak absorption of optical thin films, High Power Lase and Particle Beams, 19(2): 257-261.
Citation: LI Xia, HE Hong-Bo, ZHAO Yuan-an, FAN Zheng-xiu. 2007: Substrate effects on measurement of weak absorption of optical thin films, High Power Lase and Particle Beams, 19(2): 257-261.
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基底对光学薄膜弱吸收测量的影响

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院,研究生院,北京,100039

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800

Substrate effects on measurement of weak absorption of optical thin films

  • 摘要: 对表面热透镜技术测量光学薄膜弱吸收低频调制时不同基底对测量的影响进行了理论分析.用Lambda-900分光光度计测量了K9和石英基底的Ti3O5单层膜的吸收值,将该组样品作为定标片;用表面热透镜装置分别测量了BK7和石英空白基底及HfO2,ZnO两组不同基底不同厚度单层膜样品的吸收.通过分析比较同一工艺条件下镀制的不同基底薄膜样品用与其同种和不同种基底定标片定标测量的结果,表明在低频测量时需要用与测量样品同种基底的定标片定标;不同厚度样品的测量结果表明,在不能严格满足热薄条件时,测量结果需引入修正值.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-02-28

基底对光学薄膜弱吸收测量的影响

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院,研究生院,北京,100039
  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800

摘要: 对表面热透镜技术测量光学薄膜弱吸收低频调制时不同基底对测量的影响进行了理论分析.用Lambda-900分光光度计测量了K9和石英基底的Ti3O5单层膜的吸收值,将该组样品作为定标片;用表面热透镜装置分别测量了BK7和石英空白基底及HfO2,ZnO两组不同基底不同厚度单层膜样品的吸收.通过分析比较同一工艺条件下镀制的不同基底薄膜样品用与其同种和不同种基底定标片定标测量的结果,表明在低频测量时需要用与测量样品同种基底的定标片定标;不同厚度样品的测量结果表明,在不能严格满足热薄条件时,测量结果需引入修正值.

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