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化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工

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公发全, 肖鹏, 黄润兰, 李刚, 刘万发, 董闯. 2007: 化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工, 强激光与粒子束, 19(2): 327-329.
引用本文: 公发全, 肖鹏, 黄润兰, 李刚, 刘万发, 董闯. 2007: 化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工, 强激光与粒子束, 19(2): 327-329.
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GONG Fa-quan, XIAO Peng, HUANG Run-lan, LI Gang, LIU Wan-fa, DONG Chuang. 2007: Super-smooth surface nanometer fabrication of chemical vapor deposition SiC, High Power Lase and Particle Beams, 19(2): 327-329.
Citation: GONG Fa-quan, XIAO Peng, HUANG Run-lan, LI Gang, LIU Wan-fa, DONG Chuang. 2007: Super-smooth surface nanometer fabrication of chemical vapor deposition SiC, High Power Lase and Particle Beams, 19(2): 327-329.
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化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工

  • 中国科学院,大连化学物理研究所,短波长化学激光国家863重点实验室,辽宁,大连,116023;大连理工大学,三束国家重点实验室,辽宁,大连,116023

  • 中南大学,粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083

  • 中国科学院,大连化学物理研究所,短波长化学激光国家863重点实验室,辽宁,大连,116023

  • 大连理工大学,三束国家重点实验室,辽宁,大连,116023

Super-smooth surface nanometer fabrication of chemical vapor deposition SiC

  • 摘要: 利用传统光学加工方法,采用陶瓷磨盘和金刚石微粉对国产化学气相沉积(CVD)SiC进行了粗磨、细磨加工;然后,利用颗粒直径从4 μm到1 μm的金刚石研磨膏逐级进行抛光,发现SiC表面存在纳米级划痕;最后,改用颗粒直径为20 nm氧化铝纳米颗粒的碱性水溶液进行抛光,表面粗糙度达到0.6 nm(RMS),表面纳米级划痕得到很好改善,获得了较高表面质量的超光滑表面.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-02-28

化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工

  • 中国科学院,大连化学物理研究所,短波长化学激光国家863重点实验室,辽宁,大连,116023;大连理工大学,三束国家重点实验室,辽宁,大连,116023
  • 中南大学,粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083
  • 中国科学院,大连化学物理研究所,短波长化学激光国家863重点实验室,辽宁,大连,116023
  • 大连理工大学,三束国家重点实验室,辽宁,大连,116023

摘要: 利用传统光学加工方法,采用陶瓷磨盘和金刚石微粉对国产化学气相沉积(CVD)SiC进行了粗磨、细磨加工;然后,利用颗粒直径从4 μm到1 μm的金刚石研磨膏逐级进行抛光,发现SiC表面存在纳米级划痕;最后,改用颗粒直径为20 nm氧化铝纳米颗粒的碱性水溶液进行抛光,表面粗糙度达到0.6 nm(RMS),表面纳米级划痕得到很好改善,获得了较高表面质量的超光滑表面.

English Abstract

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