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掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析

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马兆侠, 吴卫东, 冯建鸿, 程新路, 唐永建, 杨向东. 2007: 掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析, 强激光与粒子束, 19(1): 83-85.
引用本文: 马兆侠, 吴卫东, 冯建鸿, 程新路, 唐永建, 杨向东. 2007: 掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析, 强激光与粒子束, 19(1): 83-85.
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MA Zhao-xia, WU Wei-dong, FENG Jian-hong, CHENG Xin-lu, TANG Yong-jian, YANG Xiang-dong. 2007: Preparation and XPS study of gradient bromating amorphous hydrogenated carbon film, High Power Lase and Particle Beams, 19(1): 83-85.
Citation: MA Zhao-xia, WU Wei-dong, FENG Jian-hong, CHENG Xin-lu, TANG Yong-jian, YANG Xiang-dong. 2007: Preparation and XPS study of gradient bromating amorphous hydrogenated carbon film, High Power Lase and Particle Beams, 19(1): 83-85.
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掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;四川大学,原子分子物理研究所,成都,610065

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 四川大学,原子分子物理研究所,成都,610065

Preparation and XPS study of gradient bromating amorphous hydrogenated carbon film

  • 摘要: 采用低压等离子增强化学气相沉积法用溴乙烷、氢气制备了掺溴的非晶碳梯度薄膜.通过样品的XPS能谱分析研究了薄膜沉积速率与氢气流量、溴元素原子分数与溴乙烷流量以及溴元素原子分数与刻蚀时间之间的关系,得出了溴乙烷流量、刻蚀时间对薄膜的主要键态含量、C元素sp2/sp3键态杂化比和薄膜硬度的影响.结果表明:薄膜沉积速率随氢气流量的增加而线性减小,溴元素含量随溴乙烷流量的增加先增加后降低,刻蚀时间越长,溴乙烷流量越小,薄膜越硬.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-01-30

掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;四川大学,原子分子物理研究所,成都,610065
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 四川大学,原子分子物理研究所,成都,610065

摘要: 采用低压等离子增强化学气相沉积法用溴乙烷、氢气制备了掺溴的非晶碳梯度薄膜.通过样品的XPS能谱分析研究了薄膜沉积速率与氢气流量、溴元素原子分数与溴乙烷流量以及溴元素原子分数与刻蚀时间之间的关系,得出了溴乙烷流量、刻蚀时间对薄膜的主要键态含量、C元素sp2/sp3键态杂化比和薄膜硬度的影响.结果表明:薄膜沉积速率随氢气流量的增加而线性减小,溴元素含量随溴乙烷流量的增加先增加后降低,刻蚀时间越长,溴乙烷流量越小,薄膜越硬.

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