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干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制

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徐建程, 石琦凯, 柴立群, 邓燕, 许乔. 2006: 干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制, 强激光与粒子束, 18(11): 1783-1786.
引用本文: 徐建程, 石琦凯, 柴立群, 邓燕, 许乔. 2006: 干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制, 强激光与粒子束, 18(11): 1783-1786.
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XU Jian-cheng, SHI Qi-kai, CHAI Li-qun, DENG Yan, XU Qiao. 2006: Effect reduction of spurious fringes in interferometric measurement system, High Power Lase and Particle Beams, 18(11): 1783-1786.
Citation: XU Jian-cheng, SHI Qi-kai, CHAI Li-qun, DENG Yan, XU Qiao. 2006: Effect reduction of spurious fringes in interferometric measurement system, High Power Lase and Particle Beams, 18(11): 1783-1786.
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干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制

  • 成都精密光学工程研究中心,成都,610041

Effect reduction of spurious fringes in interferometric measurement system

  • 摘要: 为了抑制杂散条纹的影响,提出了一种简单实用的单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法,它根据三表面干涉时各个表面干涉的条纹调制度不同,从三表面干涉图的频谱中提取测试面的频谱,从而准确地恢复测试面的面形.模拟结果证明了该方法的有效性,准确度可以达到λ/1 000.实验表明:单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法得到的面形形状与波长调谐时域傅里叶变化法和涂消光漆法得到的结果基本一致,PV值和RMS值与波长调谐时域傅里叶变化法相差分别为0.001λ和0.004λ,与涂消光漆法相差分别为0.042λ和0.019λ.通过7次单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法测量,得到PV和RMS值的重复性分别为0.007 8λ和0.002 6λ.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-11-30

干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制

  • 成都精密光学工程研究中心,成都,610041

摘要: 为了抑制杂散条纹的影响,提出了一种简单实用的单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法,它根据三表面干涉时各个表面干涉的条纹调制度不同,从三表面干涉图的频谱中提取测试面的频谱,从而准确地恢复测试面的面形.模拟结果证明了该方法的有效性,准确度可以达到λ/1 000.实验表明:单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法得到的面形形状与波长调谐时域傅里叶变化法和涂消光漆法得到的结果基本一致,PV值和RMS值与波长调谐时域傅里叶变化法相差分别为0.001λ和0.004λ,与涂消光漆法相差分别为0.042λ和0.019λ.通过7次单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法测量,得到PV和RMS值的重复性分别为0.007 8λ和0.002 6λ.

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