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超声清洗与激光预处理对减反膜阈值的影响

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崔云, 赵元安, 贺洪波, 范正修, 邵建达. 2006: 超声清洗与激光预处理对减反膜阈值的影响, 强激光与粒子束, 18(10): 1712-1716.
引用本文: 崔云, 赵元安, 贺洪波, 范正修, 邵建达. 2006: 超声清洗与激光预处理对减反膜阈值的影响, 强激光与粒子束, 18(10): 1712-1716.
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CUI Yun, ZHAO Yua-nan, HE Hong-bo, FAN Zheng-xiu, SHAO Jian-da. 2006: Effects of ultrasonics cleaning and laser conditioning on the laser induced damage threshold of the antireflection, High Power Lase and Particle Beams, 18(10): 1712-1716.
Citation: CUI Yun, ZHAO Yua-nan, HE Hong-bo, FAN Zheng-xiu, SHAO Jian-da. 2006: Effects of ultrasonics cleaning and laser conditioning on the laser induced damage threshold of the antireflection, High Power Lase and Particle Beams, 18(10): 1712-1716.
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超声清洗与激光预处理对减反膜阈值的影响

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800

Effects of ultrasonics cleaning and laser conditioning on the laser induced damage threshold of the antireflection

  • 摘要: 研究了超声清洗和激光预处理两种后处理手段对减反膜的损伤特性的影响.采用电子束蒸发技术制备了1 064 nm减反膜,利用超声清洗及激光预处理的方法分别对样品进行处理,并对处理前后的样品分别进行激光损伤阈值测试及破斑深度测量.结果表明:处理后减反膜的损伤阈值均有所提升,但激光预处理的阈值增强效果更加明显;超声清洗前后的破斑深度没有大的变化,而激光预处理后的破斑深度比处理前浅得多;原因在于超声清洗只能去除表面杂质,激光预处理可减少和抑制膜层内较深处的缺陷.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-10-30

超声清洗与激光预处理对减反膜阈值的影响

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800

摘要: 研究了超声清洗和激光预处理两种后处理手段对减反膜的损伤特性的影响.采用电子束蒸发技术制备了1 064 nm减反膜,利用超声清洗及激光预处理的方法分别对样品进行处理,并对处理前后的样品分别进行激光损伤阈值测试及破斑深度测量.结果表明:处理后减反膜的损伤阈值均有所提升,但激光预处理的阈值增强效果更加明显;超声清洗前后的破斑深度没有大的变化,而激光预处理后的破斑深度比处理前浅得多;原因在于超声清洗只能去除表面杂质,激光预处理可减少和抑制膜层内较深处的缺陷.

English Abstract

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