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用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜

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谢军, 黄燕华, 杜凯, 袁光辉. 2006: 用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜, 强激光与粒子束, 18(3): 427-430.
引用本文: 谢军, 黄燕华, 杜凯, 袁光辉. 2006: 用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜, 强激光与粒子束, 18(3): 427-430.
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XIE Jun, HUANG Yan-hua, DU Kai, YUAN Guang-hui. 2006: Fabrication process of aluminum film and copper film used in EOS experiment by diamond turning technology, High Power Lase and Particle Beams, 18(3): 427-430.
Citation: XIE Jun, HUANG Yan-hua, DU Kai, YUAN Guang-hui. 2006: Fabrication process of aluminum film and copper film used in EOS experiment by diamond turning technology, High Power Lase and Particle Beams, 18(3): 427-430.
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用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

Fabrication process of aluminum film and copper film used in EOS experiment by diamond turning technology

  • 摘要: 具有材料理论密度的金属薄膜对于材料高压状态方程(EOS)研究而言具有重要的意义.本文提出采用金刚石车削技术,利用超精密金刚石车床、金刚石圆弧刀具及真空吸附夹持技术,对纯铝和无氧铜进行端面车削,完成了EOS实验用铝薄膜和铜薄膜的车削加工,实现了薄膜密度接近材料理论密度.精加工工艺参数为:进给量0.001 mm/r,主轴转速3000 r/min,切削深度1 μm.采用Form Talysurf series 2型触针式轮廓仪进行测量,结果表明:铝薄膜、铜薄膜厚度可以达到小于10 μm水平,表面均方根粗糙度小于5 nm,原始最大轮廓峰-谷高度小于50 nm,厚度一致性好于99%.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-03-30

用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 具有材料理论密度的金属薄膜对于材料高压状态方程(EOS)研究而言具有重要的意义.本文提出采用金刚石车削技术,利用超精密金刚石车床、金刚石圆弧刀具及真空吸附夹持技术,对纯铝和无氧铜进行端面车削,完成了EOS实验用铝薄膜和铜薄膜的车削加工,实现了薄膜密度接近材料理论密度.精加工工艺参数为:进给量0.001 mm/r,主轴转速3000 r/min,切削深度1 μm.采用Form Talysurf series 2型触针式轮廓仪进行测量,结果表明:铝薄膜、铜薄膜厚度可以达到小于10 μm水平,表面均方根粗糙度小于5 nm,原始最大轮廓峰-谷高度小于50 nm,厚度一致性好于99%.

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