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靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价

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赵学森, 孙涛, 高党忠, 唐永建, 董申. 2005: 靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价, 强激光与粒子束, 17(12): 1847-1851.
引用本文: 赵学森, 孙涛, 高党忠, 唐永建, 董申. 2005: 靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价, 强激光与粒子束, 17(12): 1847-1851.
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ZHAO Xue-sen, SUN Tao, GAO Dang-zhong, TANG Yong-jian, DONG Shen. 2005: Measurement and characteristic evaluation of target circumferential topography with AFM, High Power Lase and Particle Beams, 17(12): 1847-1851.
Citation: ZHAO Xue-sen, SUN Tao, GAO Dang-zhong, TANG Yong-jian, DONG Shen. 2005: Measurement and characteristic evaluation of target circumferential topography with AFM, High Power Lase and Particle Beams, 17(12): 1847-1851.
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靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价

  • 哈尔滨工业大学,精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

Measurement and characteristic evaluation of target circumferential topography with AFM

  • 摘要: 建立了由改造的原子力显微镜(AFM)、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统,气浮轴系的回转精度达0.049μm,实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量.对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析.结果表明:其球度值为0.42μm;模数范围为2～10,11～50,51～100及101～1 000对应的表面粗糙度值平均为105.7,12.2,6.2,18.25nm;并得出了平均1维功率谱-模数关系曲线.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-12-30

靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价

  • 哈尔滨工业大学,精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 建立了由改造的原子力显微镜(AFM)、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统,气浮轴系的回转精度达0.049μm,实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量.对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析.结果表明:其球度值为0.42μm;模数范围为2～10,11～50,51～100及101～1 000对应的表面粗糙度值平均为105.7,12.2,6.2,18.25nm;并得出了平均1维功率谱-模数关系曲线.

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