深紫外和频晶体CLBO产生193 nm激光的频率变换
Frequency conversion of generation 193 nm laser by deep ultraviolet sum-frequency crystal CLBO
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摘要: 简述了深紫外和频晶体CLBO的光学特性.根据相位匹配角公式、非线性有效系数公式、走离角公式和允许角公式,详细计算了CLBO晶体和频产生193 nm激光时的相位匹配角、非线性有效系数、和频时谐波走离角、允许角的具体数值.根据这些数值,并考虑产业化的要求,对目前几种和频方式进行了比较,最终选定波长为λ1=2 100 nm的o光和波长为λ2=213 nm的e光作为基频光进行和频的匹配方式.此方式相位匹配角为51.6°,具有大的非线性有效系数0.97,小的走离角3.7°,大的允许角1.9×10-6 rad·mm,是非常理想的产生193 nm激光的匹配方式.
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