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细电子束像差与畸变参量非劣解中的最优解

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尹明, 吕风杰, 张其武. 2005: 细电子束像差与畸变参量非劣解中的最优解, 强激光与粒子束, 17(2): 271-274.
引用本文: 尹明, 吕风杰, 张其武. 2005: 细电子束像差与畸变参量非劣解中的最优解, 强激光与粒子束, 17(2): 271-274.
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YIN Ming, LU Feng-jie, ZHANG Qi-wu. 2005: Optimum for the parameters of aberration and distortion of narrow e-beam in normal solution, High Power Lase and Particle Beams, 17(2): 271-274.
Citation: YIN Ming, LU Feng-jie, ZHANG Qi-wu. 2005: Optimum for the parameters of aberration and distortion of narrow e-beam in normal solution, High Power Lase and Particle Beams, 17(2): 271-274.
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细电子束像差与畸变参量非劣解中的最优解

  • 山东大学,控制科学与工程学院,山东,济南,250061

Optimum for the parameters of aberration and distortion of narrow e-beam in normal solution

  • 摘要: 以电子束偏转磁场的像差和畸变为目标,对参量进行非劣解中找出贴近理想的最优解.以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,分析了像差与电子束主轨迹的关系.并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴的3级几何像差系数和1级色差系数公式.应用中表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-02-28

细电子束像差与畸变参量非劣解中的最优解

  • 山东大学,控制科学与工程学院,山东,济南,250061

摘要: 以电子束偏转磁场的像差和畸变为目标,对参量进行非劣解中找出贴近理想的最优解.以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,分析了像差与电子束主轨迹的关系.并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴的3级几何像差系数和1级色差系数公式.应用中表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正.

English Abstract

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