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短波段光学减反膜的溶胶-凝胶法制备及性能分析

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肖轶群, 沈军, 姚兰芳, 王珊, 杨帆. 2004: 短波段光学减反膜的溶胶-凝胶法制备及性能分析, 强激光与粒子束, 16(10): 1281-1285.
引用本文: 肖轶群, 沈军, 姚兰芳, 王珊, 杨帆. 2004: 短波段光学减反膜的溶胶-凝胶法制备及性能分析, 强激光与粒子束, 16(10): 1281-1285.
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2004: Preparation of hydrophobic-shortwave-band antireflective film by Sol-Gel process and its performance analysis, High Power Lase and Particle Beams, 16(10): 1281-1285.
Citation: 2004: Preparation of hydrophobic-shortwave-band antireflective film by Sol-Gel process and its performance analysis, High Power Lase and Particle Beams, 16(10): 1281-1285.
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短波段光学减反膜的溶胶-凝胶法制备及性能分析

  • 同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

  • 同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092;上海理工大学,理学院,物理系,上海,200093

Preparation of hydrophobic-shortwave-band antireflective film by Sol-Gel process and its performance analysis

  • 摘要: 随着大型激光器的发展,对短波段减反膜的要求日益提高,其中钕玻璃激光三倍频(355nm)的减反射成为新的技术要点.采用溶胶-凝胶工艺合成SiOz溶胶,采用提拉镀膜法制备纳米多孔SiOz薄膜,薄膜厚度为75nm,折射率控制在1.22,镀制在石英基底上的薄膜其355nm波长的反射率仅为0.2%.通过氨处理工艺和薄膜的表面修饰,薄膜的抗磨擦性能和疏水性能大大提高,薄膜经过蘸有灰尘、乙醇的棉花球擦洗20次和50次后,透射率最大值仅分别降低0.13%和0.39%,与水珠的接触角达到110°.
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-10-30

短波段光学减反膜的溶胶-凝胶法制备及性能分析

  • 同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092
  • 同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092;上海理工大学,理学院,物理系,上海,200093

摘要: 随着大型激光器的发展,对短波段减反膜的要求日益提高,其中钕玻璃激光三倍频(355nm)的减反射成为新的技术要点.采用溶胶-凝胶工艺合成SiOz溶胶,采用提拉镀膜法制备纳米多孔SiOz薄膜,薄膜厚度为75nm,折射率控制在1.22,镀制在石英基底上的薄膜其355nm波长的反射率仅为0.2%.通过氨处理工艺和薄膜的表面修饰,薄膜的抗磨擦性能和疏水性能大大提高,薄膜经过蘸有灰尘、乙醇的棉花球擦洗20次和50次后,透射率最大值仅分别降低0.13%和0.39%,与水珠的接触角达到110°.

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