一步法紫外曝光制备TiO2光敏凝胶光栅的初步研究

周斌; 邱恒山; 刘小林; 沈军; 吴广明; 孙骐; 黄耀东; 艾琳

强激光与粒子束

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周斌, 邱恒山, 刘小林, 沈军, 吴广明, 孙骐, 黄耀东, 艾琳. 2004: 一步法紫外曝光制备TiO2光敏凝胶光栅的初步研究, 强激光与粒子束, 16(3): 305-308.

引用本文:

周斌, 邱恒山, 刘小林, 沈军, 吴广明, 孙骐, 黄耀东, 艾琳. 2004: 一步法紫外曝光制备TiO2光敏凝胶光栅的初步研究, 强激光与粒子束, 16(3): 305-308.

2004: Single-step fabrication of diffraction grating on TiO2 photosensitive gels film by direct UV irradiation, High Power Lase and Particle Beams, 16(3): 305-308.

Citation:

2004: Single-step fabrication of diffraction grating on TiO2 photosensitive gels film by direct UV irradiation, High Power Lase and Particle Beams, 16(3): 305-308.

一步法紫外曝光制备TiO2光敏凝胶光栅的初步研究

同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

Single-step fabrication of diffraction grating on TiO2 photosensitive gels film by direct UV irradiation

摘要: 以钛酸丁酯和苯甲酰丙酮为原料,经sol-gel工艺,获得具有负性光刻胶性质的TiO2光敏凝胶薄膜.它的敏感波长在360nm附近,与反应生成的螯合环有关.结合掩模曝光和显影工艺,将条状或网格状的光栅图形引入光敏凝胶表面,获得光敏凝胶光栅.
- 光敏凝胶 /
- 紫外曝光 /
- 掩模 /
- 溶胶-凝胶工艺