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含氮类金刚石薄膜的紫外辐照研究

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刘贵昂, 谢二庆, 王天民. 2004: 含氮类金刚石薄膜的紫外辐照研究, 强激光与粒子束, 16(3): 372-376.
引用本文: 刘贵昂, 谢二庆, 王天民. 2004: 含氮类金刚石薄膜的紫外辐照研究, 强激光与粒子束, 16(3): 372-376.
shu
2004: Studies of ultraviolet light irradiation effect on diamond-like carbon(N) films, High Power Lase and Particle Beams, 16(3): 372-376.
Citation: 2004: Studies of ultraviolet light irradiation effect on diamond-like carbon(N) films, High Power Lase and Particle Beams, 16(3): 372-376.
shu

含氮类金刚石薄膜的紫外辐照研究

  • 湛江师范学院,物理系,广东,湛江,524048

  • 兰州大学,物理系,甘肃,兰州,730000

  • 北京航空航天大学,理学院,北京100083

Studies of ultraviolet light irradiation effect on diamond-like carbon(N) films

  • 摘要: 用射频等离子体方法在玻璃基底上制备的类金刚石(DLC)薄膜,采用离子注入法掺氮,并对掺氮DLC薄膜紫外(UV)辐照前后的性能变化进行了研究.研究结果表明:随氮离子注入剂量及UV辐照时间的增加,位于2 930cm-1附近的SP3C-H吸收峰明显变小,而位于1 580cm-1附近的SP2C-H吸收峰则明显增强,薄膜的电阻率明显呈下降趋势;随UV辐照时间的增加,位于1 078cm-1附近的Si-O-Si键数量及位于786cm-1附近的Si-C键数量明显增加.即氮离子注入和UV辐照明显改变了DLC薄膜的结构与特性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-03-30

含氮类金刚石薄膜的紫外辐照研究

  • 湛江师范学院,物理系,广东,湛江,524048
  • 兰州大学,物理系,甘肃,兰州,730000
  • 北京航空航天大学,理学院,北京100083

摘要: 用射频等离子体方法在玻璃基底上制备的类金刚石(DLC)薄膜,采用离子注入法掺氮,并对掺氮DLC薄膜紫外(UV)辐照前后的性能变化进行了研究.研究结果表明:随氮离子注入剂量及UV辐照时间的增加,位于2 930cm-1附近的SP3C-H吸收峰明显变小,而位于1 580cm-1附近的SP2C-H吸收峰则明显增强,薄膜的电阻率明显呈下降趋势;随UV辐照时间的增加,位于1 078cm-1附近的Si-O-Si键数量及位于786cm-1附近的Si-C键数量明显增加.即氮离子注入和UV辐照明显改变了DLC薄膜的结构与特性.

English Abstract

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