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亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用

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陈献忠, 姚汉民, 陈旭南. 2003: 亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用, 强激光与粒子束, 15(9): 919-922.
引用本文: 陈献忠, 姚汉民, 陈旭南. 2003: 亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用, 强激光与粒子束, 15(9): 919-922.
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2003: Application of metastable helium atomic beam in nanostructures fabrication, High Power Lase and Particle Beams, 15(9): 919-922.
Citation: 2003: Application of metastable helium atomic beam in nanostructures fabrication, High Power Lase and Particle Beams, 15(9): 919-922.
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亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用

  • 中国科学院,光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209

Application of metastable helium atomic beam in nanostructures fabrication

  • 摘要: 介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法.亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程,原子的密度分布出现沟道化效应,给出基于光掩模制作纳米图形的基本原理、理论分析及模拟结果.介绍基于物理掩模制作纳米图形的原理和SAM抗蚀剂,利用沉积在基底上的亚稳态原子破坏基底上的SAM膜,结合刻蚀技术可制作出纳米量级的图形.
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出版历程
  • 刊出日期:  2003-09-30

亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用

  • 中国科学院,光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209

摘要: 介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法.亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程,原子的密度分布出现沟道化效应,给出基于光掩模制作纳米图形的基本原理、理论分析及模拟结果.介绍基于物理掩模制作纳米图形的原理和SAM抗蚀剂,利用沉积在基底上的亚稳态原子破坏基底上的SAM膜,结合刻蚀技术可制作出纳米量级的图形.

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