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高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺

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魏芸, 吕海兵, 蒋晓东, 唐灿, 任寰, 李珂. 2003: 高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺, 强激光与粒子束, 15(7): 647-650.
引用本文: 魏芸, 吕海兵, 蒋晓东, 唐灿, 任寰, 李珂. 2003: 高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺, 强激光与粒子束, 15(7): 647-650.
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2003: Fabrication of broadband antireflective films by sol-gel spin-coating process for high power lasers, High Power Lase and Particle Beams, 15(7): 647-650.
Citation: 2003: Fabrication of broadband antireflective films by sol-gel spin-coating process for high power lasers, High Power Lase and Particle Beams, 15(7): 647-650.
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高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

Fabrication of broadband antireflective films by sol-gel spin-coating process for high power lasers

  • 摘要: 采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅-SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上.
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出版历程
  • 刊出日期:  2003-07-30

高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅-SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上.

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