菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计

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谭峭峰, 严瑛白, 金国藩, 邬敏贤, 徐端颐. 2003: 菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计, 强激光与粒子束, 15(2): 125-128.
引用本文: 谭峭峰, 严瑛白, 金国藩, 邬敏贤, 徐端颐. 2003: 菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计, 强激光与粒子束, 15(2): 125-128.
2003: Design of diffractive optical element for beam smoothing in Fresnel diffraction region, High Power Lase and Particle Beams, 15(2): 125-128.
Citation: 2003: Design of diffractive optical element for beam smoothing in Fresnel diffraction region, High Power Lase and Particle Beams, 15(2): 125-128.

菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计

Design of diffractive optical element for beam smoothing in Fresnel diffraction region

  • 摘要: 采用精细化设计方法,进行了菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计,利用爬山-模拟退火混合优化算法,获得了真实的束匀滑分布,不仅控制了算法采样点上的光强分布,还控制了其他非采样点上的光强分布.优化得到的束匀滑器件的位相深度小于π,易于后续加工.
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出版历程
  • 刊出日期:  2003-02-28

菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计

  • 清华大学,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084

摘要: 采用精细化设计方法,进行了菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计,利用爬山-模拟退火混合优化算法,获得了真实的束匀滑分布,不仅控制了算法采样点上的光强分布,还控制了其他非采样点上的光强分布.优化得到的束匀滑器件的位相深度小于π,易于后续加工.

English Abstract

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