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电子回旋共振微波等离子体技术及应用

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张继成, 唐永建, 吴卫东. 2002: 电子回旋共振微波等离子体技术及应用, 强激光与粒子束, 14(4): 566-570.
引用本文: 张继成, 唐永建, 吴卫东. 2002: 电子回旋共振微波等离子体技术及应用, 强激光与粒子束, 14(4): 566-570.
shu
2002: Technology and application of celectron cyclotron resonance microwave plasas, High Power Lase and Particle Beams, 14(4): 566-570.
Citation: 2002: Technology and application of celectron cyclotron resonance microwave plasas, High Power Lase and Particle Beams, 14(4): 566-570.
shu

电子回旋共振微波等离子体技术及应用

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

Technology and application of celectron cyclotron resonance microwave plasas

  • 摘要: 电子回旋共振微波等离子体技术(ECR-MP)在表面处理、等离子体刻蚀和薄膜制备,尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用.综述了ECR-MP的基本原理、反应装置、实验研究、理论研究和应用情况的发展现状,同时分析了其今后可能的发展趋势.
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出版历程
  • 刊出日期:  2002-07-30

电子回旋共振微波等离子体技术及应用

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 电子回旋共振微波等离子体技术(ECR-MP)在表面处理、等离子体刻蚀和薄膜制备,尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用.综述了ECR-MP的基本原理、反应装置、实验研究、理论研究和应用情况的发展现状,同时分析了其今后可能的发展趋势.

English Abstract

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