光学膜层激光预处理过程研究

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蒋晓东, 黄祖鑫, 任寰, 彭净, 叶琳, 唐灿. 2002: 光学膜层激光预处理过程研究, 强激光与粒子束, 14(3): 321-324.
引用本文: 蒋晓东, 黄祖鑫, 任寰, 彭净, 叶琳, 唐灿. 2002: 光学膜层激光预处理过程研究, 强激光与粒子束, 14(3): 321-324.
2002: Study of laser conditioning process for optical films, High Power Lase and Particle Beams, 14(3): 321-324.
Citation: 2002: Study of laser conditioning process for optical films, High Power Lase and Particle Beams, 14(3): 321-324.

光学膜层激光预处理过程研究

Study of laser conditioning process for optical films

  • 摘要: 光学元件经过激光预处理后,其抗激光破坏能力最大提高2倍以上 ,系统研究激光预处理机理和工艺,能安全可靠地提高光学元件损伤阈值,提升高功率激光 系统的能量密度.研究了几种sol-gel膜、PVD膜在预处理前后膜层表面的变化(损伤形貌 )以及损伤阈值的增幅,发现预处理过程膜层仍然发生了一定程度的轻微损伤,这种损伤和膜层本身缺陷、激光参数密切相关,预处理过程可逐步消除膜层缺陷.
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出版历程
  • 刊出日期:  2002-05-30

光学膜层激光预处理过程研究

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 光学元件经过激光预处理后,其抗激光破坏能力最大提高2倍以上 ,系统研究激光预处理机理和工艺,能安全可靠地提高光学元件损伤阈值,提升高功率激光 系统的能量密度.研究了几种sol-gel膜、PVD膜在预处理前后膜层表面的变化(损伤形貌 )以及损伤阈值的增幅,发现预处理过程膜层仍然发生了一定程度的轻微损伤,这种损伤和膜层本身缺陷、激光参数密切相关,预处理过程可逐步消除膜层缺陷.

English Abstract

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