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潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用

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金大志, 唐平瀛, 刘铁, 谈效华, 戴晶怡. 2002: 潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用, 强激光与粒子束, 14(3): 453-455.
引用本文: 金大志, 唐平瀛, 刘铁, 谈效华, 戴晶怡. 2002: 潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用, 强激光与粒子束, 14(3): 453-455.
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2002: Application of Penning discharge in vacuum measuring of sealed vacuum device, High Power Lase and Particle Beams, 14(3): 453-455.
Citation: 2002: Application of Penning discharge in vacuum measuring of sealed vacuum device, High Power Lase and Particle Beams, 14(3): 453-455.
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潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用

  • 中国工程物理研究院,电子,工程研究所,四川,绵阳,621900

Application of Penning discharge in vacuum measuring of sealed vacuum device

  • 摘要: 密封电真空器件的可靠性尤其重要,而影响其可靠性的主要因素是 真空度.对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真 空度,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法.分析了利用潘宁放电来测量两个电 极的密封电真空器件真空度的工作原理,设计了测试实验装置,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型,给出了有关实验数据.
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出版历程
  • 刊出日期:  2002-05-30

潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用

  • 中国工程物理研究院,电子,工程研究所,四川,绵阳,621900

摘要: 密封电真空器件的可靠性尤其重要,而影响其可靠性的主要因素是 真空度.对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真 空度,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法.分析了利用潘宁放电来测量两个电 极的密封电真空器件真空度的工作原理,设计了测试实验装置,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型,给出了有关实验数据.

English Abstract

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