厚样品三维叠层衍射成像的实验研究?

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潘安, 张晓菲, 王彬, 赵青, 史祎诗. 2016: 厚样品三维叠层衍射成像的实验研究?, 物理学报, null(1): 108-124. doi: 10.7498/aps.65.014204
引用本文: 潘安, 张晓菲, 王彬, 赵青, 史祎诗. 2016: 厚样品三维叠层衍射成像的实验研究?, 物理学报, null(1): 108-124. doi: 10.7498/aps.65.014204
Pan An, Zhang Xiao-Fei, Wang Bin, Zhao Qing, Shi Yi-Shi. 2016: Exp erimental study on three-dimensional ptychography for thick sample, Acta Physica Sinica, null(1): 108-124. doi: 10.7498/aps.65.014204
Citation: Pan An, Zhang Xiao-Fei, Wang Bin, Zhao Qing, Shi Yi-Shi. 2016: Exp erimental study on three-dimensional ptychography for thick sample, Acta Physica Sinica, null(1): 108-124. doi: 10.7498/aps.65.014204

厚样品三维叠层衍射成像的实验研究?

Exp erimental study on three-dimensional ptychography for thick sample

  • 摘要: 叠层衍射成像是一种新兴的无透镜成像技术,目前限制这项技术发展的是光束透过样品时的乘法近似假设,这意味着在可见光域微米级分辨率下,叠层衍射成像的样品厚度不能超过数十微米。通过将样品沿轴多层切片的方式,在模拟实验和光学实验中均实现了对毫米量级厚样品的三维叠层衍射成像。模拟实验结果表明,单波长并不能很好地恢复三维厚样品,从而有必要引入多波长光束照明,随着波长数量的增加,三维厚样品的复原质量不断提高。光学实验使用两组不同厚度的样品进行实验验证,进一步研究了波长数量对复原结果的影响。随着波长数量增加,复原图像质量不断提高,证明了模拟实验的结论。利用所建光学实验装置,在三波长照明条件下取得了最好的成像与分离效果。同时针对实验中出现的叠影现象做出了合理的解释。研究结果对提高厚样品三维叠层衍射成像的质量具有现实意义。
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出版历程
  • 刊出日期:  2016-01-15

厚样品三维叠层衍射成像的实验研究?

  • 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710119; 中国科学院大学,北京 100049
  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033; 中国科学院大学,北京 100049
  • 中国科学院大学,北京 100049; 中国科学院光电研究院,北京 100094

摘要: 叠层衍射成像是一种新兴的无透镜成像技术,目前限制这项技术发展的是光束透过样品时的乘法近似假设,这意味着在可见光域微米级分辨率下,叠层衍射成像的样品厚度不能超过数十微米。通过将样品沿轴多层切片的方式,在模拟实验和光学实验中均实现了对毫米量级厚样品的三维叠层衍射成像。模拟实验结果表明,单波长并不能很好地恢复三维厚样品,从而有必要引入多波长光束照明,随着波长数量的增加,三维厚样品的复原质量不断提高。光学实验使用两组不同厚度的样品进行实验验证,进一步研究了波长数量对复原结果的影响。随着波长数量增加,复原图像质量不断提高,证明了模拟实验的结论。利用所建光学实验装置,在三波长照明条件下取得了最好的成像与分离效果。同时针对实验中出现的叠影现象做出了合理的解释。研究结果对提高厚样品三维叠层衍射成像的质量具有现实意义。

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