掺杂对多层Ge/Si(001)量子点光致发光的影响

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刘智, 李亚明, 薛春来, 成步文?, 王启明. 2013: 掺杂对多层Ge/Si(001)量子点光致发光的影响, 物理学报, null(7): 335-338. doi: 10.7498/aps.62.076108
引用本文: 刘智, 李亚明, 薛春来, 成步文?, 王启明. 2013: 掺杂对多层Ge/Si(001)量子点光致发光的影响, 物理学报, null(7): 335-338. doi: 10.7498/aps.62.076108
2013: Effect of doping on the photoluminescence of multilayer Ge quantum dots deposited on Si(001) substrate?, Acta Physica Sinica, null(7): 335-338. doi: 10.7498/aps.62.076108
Citation: 2013: Effect of doping on the photoluminescence of multilayer Ge quantum dots deposited on Si(001) substrate?, Acta Physica Sinica, null(7): 335-338. doi: 10.7498/aps.62.076108

掺杂对多层Ge/Si(001)量子点光致发光的影响

Effect of doping on the photoluminescence of multilayer Ge quantum dots deposited on Si(001) substrate?

  • 摘要: 利用超高真空化学气相沉积设备,在Si (001)衬底上外延生长了多个四层Ge/Si量子点样品.通过原位掺杂的方法,对不同样品中的Ge/Si量子点分别进行了未掺杂、磷掺杂和硼掺杂.相比未掺杂的样品,磷掺杂不影响Ge/Si量子点的表面形貌,但可以有效增强其室温光致发光;而硼掺杂会增强Ge/Si量子点的合并,降低小尺寸Ge/Si量子点的密度,但其光致发光会减弱.磷掺杂增强Ge/Si量子点光致发光的原因是,磷掺杂为Ge/Si量子点提供了更多参与辐射复合的电子.
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出版历程
  • 刊出日期:  2013-04-15

掺杂对多层Ge/Si(001)量子点光致发光的影响

  • 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京 100083

摘要: 利用超高真空化学气相沉积设备,在Si (001)衬底上外延生长了多个四层Ge/Si量子点样品.通过原位掺杂的方法,对不同样品中的Ge/Si量子点分别进行了未掺杂、磷掺杂和硼掺杂.相比未掺杂的样品,磷掺杂不影响Ge/Si量子点的表面形貌,但可以有效增强其室温光致发光;而硼掺杂会增强Ge/Si量子点的合并,降低小尺寸Ge/Si量子点的密度,但其光致发光会减弱.磷掺杂增强Ge/Si量子点光致发光的原因是,磷掺杂为Ge/Si量子点提供了更多参与辐射复合的电子.

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