非晶硅太阳电池BZO/p-a-SiC:H接触特性改善的研究

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王利, 张晓丹, 杨旭, 魏长春, 张德坤, 王广才, 孙建, 赵颖. 2013: 非晶硅太阳电池BZO/p-a-SiC:H接触特性改善的研究, 物理学报, null(5): 551-556. doi: 10.7498/aps.62.058801
引用本文: 王利, 张晓丹, 杨旭, 魏长春, 张德坤, 王广才, 孙建, 赵颖. 2013: 非晶硅太阳电池BZO/p-a-SiC:H接触特性改善的研究, 物理学报, null(5): 551-556. doi: 10.7498/aps.62.058801
2013: Study of the contact property between BZO and p-a-SiC in amorphous silicon solar cell?, Acta Physica Sinica, null(5): 551-556. doi: 10.7498/aps.62.058801
Citation: 2013: Study of the contact property between BZO and p-a-SiC in amorphous silicon solar cell?, Acta Physica Sinica, null(5): 551-556. doi: 10.7498/aps.62.058801

非晶硅太阳电池BZO/p-a-SiC:H接触特性改善的研究

Study of the contact property between BZO and p-a-SiC in amorphous silicon solar cell?

  • 摘要: 采用重掺杂的p型微晶硅来改善前电极掺硼氧化锌(ZnO:B)和窗口层p型非晶硅碳(p-a-SiC)之间的非欧姆接触特性.通过优化插入层p型微晶硅的沉积参数(氢稀释比H2/SiH4、硼掺杂比B2H6/SiH4)获得了较薄厚度下(20 nm)暗电导率高达4.2 S/cm的p型微晶硅材料.在本征层厚度约为150 nm,仅采用Al背反射电极的情况下,获得了效率6.37%的非晶硅顶电池(Voc=911 mV, FF=71.7%, Jsc=9.73 mA/cm2),开路电压Voc和填充因子FF均较无插入层的电池有大幅提升.
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出版历程
  • 刊出日期:  2013-03-15

非晶硅太阳电池BZO/p-a-SiC:H接触特性改善的研究

  • 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津 300071

摘要: 采用重掺杂的p型微晶硅来改善前电极掺硼氧化锌(ZnO:B)和窗口层p型非晶硅碳(p-a-SiC)之间的非欧姆接触特性.通过优化插入层p型微晶硅的沉积参数(氢稀释比H2/SiH4、硼掺杂比B2H6/SiH4)获得了较薄厚度下(20 nm)暗电导率高达4.2 S/cm的p型微晶硅材料.在本征层厚度约为150 nm,仅采用Al背反射电极的情况下,获得了效率6.37%的非晶硅顶电池(Voc=911 mV, FF=71.7%, Jsc=9.73 mA/cm2),开路电压Voc和填充因子FF均较无插入层的电池有大幅提升.

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